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    ICP干法等離子刻蝕機

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    具體成交價以合同協議為準
    • 型號
    • 品牌
    • 所在地上海
    • 更新時間2024-07-03
    • 廠商性質生產廠家
    • 所在地區上海市
    • 實名認證已認證
    • 產品數量25
    • 人氣值848
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    ICP干法等離子刻蝕機 產品詳情
    產品特點

    4/6/8英寸兼容,單片晶圓真空傳輸系統

    低成本高可靠,適合研發及小規模生產

    ● 設備結構簡單,外形小

    ● 操作簡便、便于自動控制、適合大面積基片刻蝕

    ● 優異的刻蝕均勻性,刻蝕速率快

    滿足半導體標準的配方驅動及管理軟件控制系統

    ● 選擇比高、各向異性高、刻蝕損傷小

    ● 斷面輪廓可控性高,刻蝕表面平整光滑


    技術參數

    晶圓尺寸:4/6/8英寸兼容

    適用工藝:等離子體刻蝕

    適用材料:SiC、Si、GaN、GaAs、InP、Ploy,etc.


    應用領域

    適用領域:化合物半導體,MEMS、功率器件、科研等領域


    應用.png


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