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    • Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 電子束刻蝕系統(tǒng)

    Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 電子束刻蝕系統(tǒng)

    參考價訂貨量

    13

    ≥1臺

    具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
    • 型號
    • 品牌其他品牌
    • 所在地上海
    • 更新時間2022-09-29
    • 廠商性質(zhì)代理商
    • 所在地區(qū)上海
    • 產(chǎn)品數(shù)量92
    • 人氣值2039
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    同類產(chǎn)品

    位于中國上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)(上海)有限公司創(chuàng)建于1995年12月,是日本伯東株式會社獨資設(shè)立的外商投資企業(yè),公司注冊資金為800萬美元。

    本公司主要是一家以經(jīng)營電子接插件、線束、電線以及機(jī)械設(shè)備、中空產(chǎn)品等精密儀器、設(shè)備的維修,以及以半導(dǎo)體制造裝置、基板制造裝置、電腦軟件為主的貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易及保稅區(qū)企業(yè)間貿(mào)易及保稅區(qū)貿(mào)易代理、貿(mào)易及相關(guān)技術(shù)咨詢的公司。

    公司一直堅持品質(zhì)*、信譽(yù)*的原則,為廣大客戶提供了高品質(zhì)的產(chǎn)品以及良好的售后服務(wù)。到目前為止已先后通過了美國UL安全認(rèn)證、 ISO9001-2000質(zhì)量體系認(rèn)證、ISO14001-1996環(huán)境體系認(rèn)證。公司將在今后的發(fā)展中秉承以人為本,不斷開拓進(jìn)取的精神,為滿足客戶的需求努力向?qū)I(yè)化、優(yōu)質(zhì)化、集團(tuán)化發(fā)展。

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    產(chǎn)地進(jìn)口 加工定制
    上海伯東日本*適合小規(guī)模量產(chǎn)使用和實驗室研究的離子蝕刻機(jī), 一般通氬氣 Ar, 無污染, 內(nèi)部使用美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 40 產(chǎn)生轟擊離子; 終點檢出器采用 Pfeiffer 殘余質(zhì)譜監(jiān)測當(dāng)前氣體成分, 判斷刻蝕情況.
    Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 電子束刻蝕系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

    上海伯東日本*適合小規(guī)模量產(chǎn)使用和實驗室研究的離子蝕刻機(jī), 一般通氬氣 Ar, 無污染, 內(nèi)部使用美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 40 產(chǎn)生轟擊離子; 終點檢出器采用 Pfeiffer 殘余質(zhì)譜監(jiān)測當(dāng)前氣體成分, 判斷刻蝕情況.

     

    Hakuto 離子蝕刻機(jī) IBE 主要優(yōu)點
    1. 干式制程的微細(xì)加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導(dǎo)體元件, MR sensor 等領(lǐng)域的開發(fā)研究及量產(chǎn)得以廣泛應(yīng)用.
    2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什么材料都可以用來加工, 所以各種領(lǐng)域都可以被廣泛應(yīng)用.
    3. 配置使用美國考夫曼離子源
    4. 射頻角度可以任意調(diào)整, 蝕刻可以根據(jù)需要做垂直, 斜面等等加工形狀.
    5. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環(huán)境下蝕刻.
    6. 配置公轉(zhuǎn)自轉(zhuǎn)傳輸機(jī)構(gòu), 使得被蝕刻物可以得到比較均勻平滑的表面.
    7. 機(jī)臺設(shè)計使用自動化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生產(chǎn)過程.

     

     

    Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE技術(shù)參數(shù):

    基板尺寸

    < Ф8 X 1wfr

     NS 離子刻蝕機(jī)檢測器可選

    樣品臺

    直接冷卻(水冷)0-90 度旋轉(zhuǎn)

    離子源

    4 cm,8cm,10cm,16cm
    考夫曼離子源

    均勻性

    ±5% for 4”Ф

    硅片刻蝕率

    20 nm/min

    溫度

    <100

     

     Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 組成:
     

     NS 離子蝕刻機(jī)通氬氣 Ar 不同材料的蝕刻速率:
     

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    產(chǎn)品名稱參考價地區(qū)公司名稱更新時間 
    IBE離子束刻蝕系統(tǒng) 電子束刻蝕系統(tǒng) 面議 北京特博萬德科技有限公司 2022-12-23 在線詢價
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    Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-C 電子束刻蝕系統(tǒng) ¥13 上海 上海伯東企業(yè)有限公司 2022-09-29 在線詢價
    Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J 電子束刻蝕系統(tǒng) ¥13 上海 上海伯東企業(yè)有限公司 2022-09-29 在線詢價
    Leica EM ACE900 冷凍斷裂系統(tǒng) 電子束刻蝕系統(tǒng) 面議 廣州市 廣州領(lǐng)拓貿(mào)易有限公司 2022-09-29 在線詢價
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