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    • Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 電子束刻蝕系統

    Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 電子束刻蝕系統

    參考價訂貨量

    13

    ≥1 臺

    具體成交價以合同協議為準
    • 型號
    • 品牌其他品牌
    • 所在地上海
    • 更新時間2022-09-29
    • 廠商性質代理商
    • 所在地區上海
    • 產品數量92
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    產地進口 加工定制
    上海伯東日本*適合大規模量產使用的 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J
    Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 電子束刻蝕系統 產品詳情

    上海伯東日本*適合大規模量產使用的 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J

     

    Hakuto 離子蝕刻機主要優點:
    1. 干式制程的微細加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導體元件, MR sensor 等領域的開發研究及量產得以廣泛應用.
    2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什么材料都可以用來加工, 所以各種領域都可以被廣泛應用.
    3. 配置使用美國考夫曼離子源
    4. 射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等等加工形狀.
    5. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環境下蝕刻.
    6. 配置公轉自轉傳輸機構, 使得被蝕刻物可以得到比較均勻平滑的表面.
    7. 機臺設計使用自動化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生產過程.

     

    Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J技術參數

    離子蝕刻

    Φ4 inch X 12片

    基片尺寸

    Φ4 inch X 12片
    Φ5 inch X 10片
    Φ6 inch X 8片

    樣品臺

    直接冷卻,水冷

    離子源

    Φ20cm 考夫曼離子源

     

     Hakuto 離子蝕刻機 IBE 通氬氣 Ar 不同材料的蝕刻速率:
    NS離子蝕刻機

     

     

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