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    CCP干法刻蝕機

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    • 型號
    • 品牌
    • 所在地上海
    • 更新時間2024-07-03
    • 廠商性質生產廠家
    • 所在地區上海市
    • 實名認證已認證
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    CCP干法刻蝕機 產品詳情
    產品特點

    -刻蝕形貌好、工藝性能

    -高選擇比、高刻蝕速率

    -低擁有成本和消耗成本



    技術參數


    晶圓尺寸:6/8寸兼容

    適用工藝:等離子體刻蝕

    適用材料:SiO2,Si3N4,etc.



    應用領域

    適用領域:化合物半導體、MEMS、功率器件、科研等領域


    正文圖片.png

    SiO2 4um SiO2 2um SiN 2um


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