激光干涉儀

摘要CHOTEST中圖儀器SJ6000單頻激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優點，在計量領域中可作為長度基準以及設備校準工具。廣泛應用于數控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領域，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度...

摘要 中圖SJ6000工業激光干涉儀品牌具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優點，在計量領域中可作為長度基準以及設備校準工具。廣泛應用于數控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領域。

摘要 SJ6000納米精度激光干涉儀軟件可以將線性測量結果生成誤差補償表，該表涵蓋了各個測量點的補償值，運動控制系統制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。

摘要 SJ6000便攜式激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優點，被廣泛應用于工程和科研領域。在工程領域，它可以用于測量材料變形、振動、熱膨脹等力學特性；在科研領域，可以用于光學元件表面形貌、復雜形狀的物體三維形貌和運動學研究等。

摘要 中圖超精密激光干涉儀sj6000具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優點，被廣泛應用于工程和科研領域。在工程領域，它可以用于測量材料變形、振動、熱膨脹等力學特性；在科研領域，可以用于光學元件表面形貌、復雜形狀的物體三維形貌和運動學研究等。

摘要SJ6000高速激光干涉儀采用高性能的穩頻氦氖激光器，采用邁克爾遜干涉原理的測量儀器。具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強等優點。在計量領域中可作為長度基準以及設備校準工具。廣泛應用于數控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3...

摘要SJ6000高精度激光干涉儀除了環境適應能力好，還可以進行動態高速測量，選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統...

摘要SJ6000國產激光干涉儀配備的EC20環境補償單元，由環境補償主機（內置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成，可實現對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測。儀器集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，...

摘要 SJ6000中圖激光干涉儀品牌以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。在動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

摘要中圖SJ6000激光干涉儀除了環境適應能力好，還可以進行動態高速測量，選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采...

摘要中圖儀器SJ6000高精度檢測機床激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。除了環境適應能力好，還可以進行動態高速測量，選配相應的功能模塊元...

摘要 中圖儀器SJ6000激光干涉光學測量儀具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

摘要精密測量SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩...

摘要以激光干涉技術為核心，SJ6000工業激光干涉測量儀機床精度測試的分辨率可達納米級。采用的激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、長期穩定性好的激光頻率輸出，并且干涉鏡與主機分離設計，避免了干涉鏡受熱影響，保證了干涉光路穩定可靠。可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備...

摘要SJ6000高性能激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定...

摘要 SJ6000激光干涉儀測量系統可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測，也具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；支持手動或自動進行環境補償。

摘要SJ6000機床精密測量激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，是一款高精度、高靈敏度的測量...

摘要 SJ6000高精度測量激光干涉儀為機床機定位誤差（螺距補償）、反向間隙修正提供依據。操作人員通過每個機床軸的補償值來消除機床定位系統中的定位誤差。后期通過對機床軸的補償，可以將誤差降低到幾乎為零的程度，大大提高機床作業精度。

摘要 SJ6000國產激光干涉儀品牌是一個交流測試系統，當激光光束強度受環境影響發生變化時，其頻率不會受光強變化影響發生變化，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的抗擾力強，精度高，測量結果可靠，在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。

摘要 SJ6000激光光學干涉儀是一個交流測試系統，當激光光束強度受環境影響發生變化時，其頻率不會受光強變化影響發生變化，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的抗擾力強，精度高，測量結果可靠，在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。

摘要中圖儀器激光干涉儀測量集光、機、電、計算機等技術于一體，采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面...

摘要SJ6000中圖激光干涉儀使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)。配合有環境補償單元，在環境變化的情況...

摘要 激光干涉儀SJ6800，高精度測量、應用廣泛、軟件功能強大，以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準

摘要 激光干涉儀，以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準，是迄今*的高精度、高靈敏度的測量儀器，在*端制造領域應用廣泛。

摘要SJ6000激光干涉儀檢測設備氦氖激光器持續輸出高穩頻的激光源，再加上環境補償器，使線性測量的精度穩定在0.5ppm，動態采集數據頻率高達50KHz，測量速度4m/sec，高速測量下的分辨率為1nm。產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱...

摘要SJ6000激光干涉儀檢測設備架設靈活，對各種復雜結構的機床、平臺和導軌都具有廣泛適用性，測量快速簡便，減少重復定位測量的時間，同時得到精確直觀的檢測數據。是高精度、高靈敏度測量儀器，廣泛應用于精密機械設備、精密檢測儀器、三坐標、機器人、3D打印設備、機床、自動化設備...

摘要 中國激光干涉儀SJ6000?采用氦氖激光器作為光源。其精度高，抗擾力強，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此降低了對環境條件的要求，使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優點。

摘要 SJ6000便攜式激光干涉儀品牌可以進行動態高速測量，選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。是高精度、高靈敏度測量儀器，廣泛應用于精密機械設備、精密檢測儀器、三坐標、機器人、3D打印設備、機床、自動化設備、線性位移平臺等領域的線性測量。

摘要 sj6000激光干涉儀可同時測量出機床的螺距誤差值和反向間隙（又稱背隙），通過精度再校準，加工精度會大大提高。

摘要 SJ6000激光干涉儀精密測量儀器的測量軟件可以將線性測量結果生成的誤差補償表，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。

摘要 SJ6000國產激光干涉儀器結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

摘要 SJ6000激光干涉測量儀在數控機床精度測量方面，豐富的模塊化組件可根據具體測量需求而選擇，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。是一種用傳統測量手段難以實現的技術。

摘要 中圖儀器激光干涉儀器設備采用氦氖激光器作為光源。其精度高，扛擾力強，降低了對環境條件的要求，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。

摘要中圖儀器SJ6000機床校準激光干涉儀以干涉技術為核心，可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；也可以實...

摘要 中圖儀器激光平面干涉儀具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點，不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。

摘要 中圖儀器SJ6000自制激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析。

摘要中圖儀器品牌的激光干涉儀可以檢測加工中心及機床、三坐標測量機的各項精度參數，使被加工工件符合標準，提高了產出的整體質量度。能實現線性定位精度、直線度、角度、回轉軸等幾何量測量功能，同時結合不同的光學鏡組，還能檢測運動導軌的俯仰角、直線度和垂直度、扭擺角，記憶校準機床的...

摘要SJ6000深圳工業激光干涉儀可以實現一次安裝即可沿任意方向的線性軸同時測量5個自由度的誤差，包括1個線性誤差、2個角度誤差和2個直線度誤差，專門用來測量、校準數控機床、三坐標、自動化設備等導軌的運動精度，尤其是在數控機床領域，SJ6000激光干涉儀是強有力的檢測儀器...

摘要 SJ6000國產便攜激光干涉儀可進行動態高速測量，配以相應元件后可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等，可實現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率。它還可以棄普通車間進行應用，環境適應能力強。

摘要 SJ6000激光干涉儀檢測設備可以檢測線性、角度、直線度、垂直度等幾何量，可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉軸分度精度的測量。

摘要SJ6000系列激光干涉儀可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角...

摘要 回轉軸測量需借助WR50自動精密轉臺，與SJ6000角度測量配合使用。將WR50連接到回轉軸上，作為測角標準器，WR50可實現0~360°的角度測量范圍，±1″的測量精度，轉速為10rpm。

摘要 SJ6000國產激光干涉儀產品采用進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量

摘要Difrotec 在光學測試方面開發了一項突破性技術Difrotec 在光學測試方面開發了一項突破性技術Difrotec是超高精度光學表面貼圖的。我們在光學系統和光學圖像處理的數學建模，開發用于DUV和EUV光刻的高精度光學系統的組裝，調整和測試的計算機模型的開發方面...

摘要Difrotec 在光學測試方面開發了一項突破性技術Difrotec 在光學測試方面開發了一項突破性技術Difrotec是超高精度光學表面貼圖的。我們在光學系統和光學圖像處理的數學建模，開發用于DUV和EUV光刻的高精度光學系統的組裝，調整和測試的計算機模型的開發方面...