單頻激光干涉儀的原理介紹
2020-12-30標簽：激光干涉儀
激光具有高強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。常用來測量長度的干涉儀。以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)(見激光測長技術(shù))測量位移的通用長度測量工具。
激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現(xiàn)的,最初用于檢定基準線紋尺,后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現(xiàn)的，它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態(tài)(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59%、CO2含量0.03%)下的測量精確度很高，可達1×10-7。
激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
激光干涉儀原理——單頻激光干涉儀
如下圖，單頻激光干涉儀的工作原理：從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式
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