中圖儀器SJ6000精密激光干涉儀器利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。
主要鏡組圖
其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
線性測量應(yīng)用
SJ6000精密激光干涉儀器廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。
在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，SJ6000激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
動(dòng)態(tài)測量概述
SJ6000動(dòng)態(tài)測量軟件搭配線性鏡組、角度鏡組或直線度鏡組可以進(jìn)行相應(yīng)的線性、角度或直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測。
動(dòng)態(tài)測量包括基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測量和基于距離的動(dòng)態(tài)測量，SJ6000動(dòng)態(tài)測量軟件可對動(dòng)態(tài)測量數(shù)據(jù)進(jìn)行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析等。
位移-時(shí)間曲線
速度-時(shí)間曲線
加速度-時(shí)間曲線
振幅-頻率曲線
動(dòng)態(tài)測量應(yīng)用
1、基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測量
機(jī)器運(yùn)動(dòng)控制性能評價(jià)：
1）運(yùn)動(dòng)控制器PID控制參數(shù)測試與設(shè)置
2）高速運(yùn)動(dòng)后機(jī)器的穩(wěn)定性測試與評價(jià)
3）高性能運(yùn)動(dòng)控制器的微小步幅的測試
2、振動(dòng)監(jiān)視
1）掃描應(yīng)用：用于定位精度不重要，但恒速對實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場合
2）機(jī)床應(yīng)用：典型應(yīng)用包括要求刀具慢速、平穩(wěn)輪廓運(yùn)動(dòng)的高質(zhì)量表面精加工
3、振動(dòng)頻率分析
1）被測對象的振動(dòng)頻率分析
2）FFT快速傅立葉變換分析
4、基于距離的動(dòng)態(tài)測量
基于距離的動(dòng)態(tài)測量，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測量，即運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下以用戶間隔進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。
5、提供脈沖觸發(fā)方式采集
CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵、編碼器、控制器等信號，配合SJ6000激光干涉儀，可實(shí)現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動(dòng)采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下，觸發(fā)激光干涉儀按照間隔位置進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。
產(chǎn)品功能
（1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；
（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
（5）具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
（6）SJ6000機(jī)床導(dǎo)軌激光干涉測量儀支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
部分技術(shù)指標(biāo)
主機(jī)
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘
工作溫度范圍：(0~40)℃
存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境濕度：(0~95)%RH
環(huán)境補(bǔ)償單元
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa
線性測量距離：(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
角度測量范圍：±10°
平面度測量范圍：±1.5mm
直線度測量范圍：±3mm
垂直度測量范圍：±3/M mm/m
便攜箱尺寸：613*460*230mm
標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg
懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
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