邁克爾遜激光干涉儀的原理解析
2020-12-30標簽：激光干涉儀
激光干涉儀原理
“干涉法”是一種利用波（通常是光波、無線電波或聲波）干涉現象的測量方法。測量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。此外，干涉法被用來描述使用光波研究位移變化的技術。這種位移測量干涉法廣泛應用于精密加工中的標定和機械級運動控制。
通過使用兩個光束（通常是將一個光束分成兩個），當這兩個光束重疊時，可以形成干涉圖樣。由于可見光的波長很短，因此可以檢測到兩束光之間的光路（行駛距離）的微小變化（因為這些差異將導致干涉圖樣的顯著變化）。
因此，一百多年來，光學干涉測量一直是一種有價值的測量技術。后來隨著激光的發明，它的精確度得到了提高。第一次演示使用光干涉原理作為測量工具是由阿爾伯特a.邁克爾遜在1880年通過發展第一個干涉儀實現的。盡管這項技術（和測量精度）已經發展了多年，但邁克爾遜干涉儀的基本原理仍然是干涉測量學的核心。
邁克爾遜激光干涉儀由分束器（半鍍銀鏡）和兩個反射鏡組成。當光線通過半鍍銀反射鏡/分束器（部分反射）時，它被分成兩個光程不同的光束（一個去鏡1，另一個去鏡2）。在反射鏡反射回來之后，這些光束在到達探測器之前，在分束器處再次合并。這兩束光的路徑差導致相位差，從而產生干涉條紋圖。然后探測器對這種模式進行分析，以評估其中一個反射鏡的波特性、材料特性或位移（取決于干涉儀用于什么測量）。
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