氣體質(zhì)量流量控制器 型號(hào):KM12-CS50庫(kù)號(hào)：M390287
產(chǎn)品特點(diǎn)
安裝方便,無(wú)安裝位置和直管段要求,操作簡(jiǎn)單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過(guò)模擬數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器（ AD/DA轉(zhuǎn)換器）配合計(jì)算機(jī)使用。
流量規(guī)格（N2標(biāo)定）
0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM
氣體質(zhì)量流量控制器 型號(hào):KM12-CS50庫(kù)號(hào)：M390287
產(chǎn)品特點(diǎn)
安裝方便,無(wú)安裝位置和直管段要求,操作簡(jiǎn)單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過(guò)模擬數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器( AD/DA轉(zhuǎn)換器)配合計(jì)算機(jī)使用。
流量規(guī)格(N2標(biāo)定)
0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM
注:滿(mǎn)量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內(nèi)任選,例如123SCCM。
輸入輸出信號(hào)
0~ +5.00V (輸入阻抗大于100kQ ,輸出電流不大于3mA)
流量規(guī)格1:（N2)產(chǎn)品特點(diǎn)
本產(chǎn)品具有穩(wěn)定、響應(yīng)時(shí)間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高等優(yōu)點(diǎn),安裝方便,無(wú)安裝位置和直管段要求,操作簡(jiǎn)單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過(guò)模擬數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器( AD/DA轉(zhuǎn)換器)配合計(jì)算機(jī)使用。
流量規(guī)格(N2標(biāo)定)
0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM
注:滿(mǎn)量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內(nèi)任選,例如123SCCM。
輸入輸出信號(hào)
0~ +5.00V (輸入阻抗大于100kQ ,輸出電流不大于3mA)
流量規(guī)格：0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM
調(diào)節(jié)閥類(lèi)型：常閉型
量程比：2-FS或者50:1
流量分辨率：0.1%FS
準(zhǔn)確度：1%FS 小于15SLM
2%FS 大于15SLM
線(xiàn)性：0.5%FS 小于15SLM
2%FS 大于15SLM
重復(fù)精度：0.2%FS
相應(yīng)時(shí)間：小于2S
工作壓差范圍：0.1-0.5MPA 小于10SLM
0.1-0.3MPA 大于10SLM
大耐壓：3MPA
工作環(huán)境：5-45度
電纜接頭：DB15pin(針形）
輸入輸出信號(hào)：0-5V（輸入抗阻大于100K歐 輸出電流不大于3MA）
供電電源要求：+15VDC 80MA -15VDC 2000MA
