淺談激光干涉儀的工作原理

    激光干涉儀工作原理簡介。激光干涉儀作為現(xiàn)代精密測量儀器的代表，已廣泛應用于精密制造和計量等各個領域，在精密位移，直線度和垂直度等領域發(fā)揮著重要作用。確定激光干涉儀測量精度的關鍵因素是什么？

 

    激光干涉儀簡介：

 

    激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高，測量速度快，測量范圍寬，*高速度分辨率高的特點。光波的波長可以直接定義儀表并追溯到國家標準。因此，激光干涉儀廣泛應用于精密儀器的質(zhì)量控制和校準，如數(shù)控機床，PCB鉆孔機，坐標測量機，位移傳感器，以及研發(fā)，制造高端設備和其他領域。

 

    使用激光干涉儀的用途：

 

    激光干涉儀結(jié)合了不同的光學鏡組，可實現(xiàn)幾何參數(shù)的高精度測量，如線性長度，角度，直線度，垂直度，平行度和平直度的測量。

 

    通過動態(tài)測量軟件的組合，激光干涉儀可以動態(tài)測量和檢測線性位移，角度和直線性能，以及位移，速度，加速度，振幅和頻率的動態(tài)分析。

 

    激光干涉儀的工作原理：

 

    激光干涉儀發(fā)射單頻光束。光束撞擊線性干涉儀并在鏡子中分成兩束光束。然后，兩束光線被反射回分束器，*后再次會聚到激光干涉儀。如果光程差不改變，激光干涉儀將在兩極之間找到建設性和相消干涉的穩(wěn)定信號。如果光程差改變，則計算這些變化并用于測量兩個光路之間的差異。