激光干涉儀帶來的體驗
2020-12-10標簽：激光干涉儀
現今，無論是工業界還是人們日常生活中，無不需要使用大量的光學鏡組組件，例如一些先進的激光切割或掃描設備、高分辨率攝影器材、眼鏡等。隨著應用的復雜性和精度要求的提升，對鏡組組件尤其是頻繁使用的球面鏡的加工精度要求也隨之提高。這意味著用于檢測相關組件參數的檢測儀器的精度和效率也必須進一步提高。
北京理工大學成功研發的激光差動共焦干涉組件參數測量儀器，是全球首臺能夠對球面光學元件同時進行多種參數高精度綜合測量的儀器，它不僅免除購買多臺測量儀器的需要，而且大幅減少測量中因更換儀器而反復裝調的時間。雷尼紹的XL-80系列激光干涉儀作為其中的核心組件之一，為測量儀提供穩定可靠的測長數據。
工作原理
球面鏡(透鏡表面是球面的一部分)被廣泛應用于工業、科研等范疇，特別是半導體制程中的光刻機、航天攝像系統、望遠鏡等對內部光學組件有極嚴格要求的應用，每個組件的微小加工誤差對系統的成像質量都有著極大的影響(球面鏡圖解如圖1所示,)。在北京理工大學成功開發激光差動共焦干涉組件測量儀之前，市場上沒有能同時進行相關參數測量的儀器。
在解釋激光干涉儀的結構和工作原理時，北京理工大學光電學院教授趙維謙教授說：“我們應客戶的要求來定制不同規格配置的測量儀器，基本機構主要由差動共焦干涉測量主機(包含差動共焦干涉光路)、標準透鏡、氣浮導軌、多維調整架、機電移動平臺和雷尼紹XL-80激光干涉儀組成。差動共焦干涉測量主機向被測鏡射出測量光束并聚于標準透鏡焦點處，被測透鏡通過多維調整架架設在氣浮導軌上，由機電移動平臺帶動調整架與被測透鏡沿光軸方向移動。當測量光束匯聚點與被測透鏡前表面頂點或后表面頂點重合時，光束由被測鏡表面反射，沿路返回進行數據分析，同時測長激光干涉儀(XL-80)實時采集被測透鏡的位置坐標數據。
上一篇：SJ6000激光干涉儀的應用簡介
下一篇：淺談激光干涉儀的工作原理
- 版權與免責聲明：凡本網注明“來源：儀表網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-儀表網合法擁有版權或有權使用的作品， 未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：儀表網”。違反上 述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其它來源（非儀表網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點或和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行 為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
熱點資訊
最新產品\ NEW PRODUCT
-
SJ6000精密激光干涉儀器利用激光干涉現象來實現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優點。結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。 -
SJ6000機床激光干涉檢測儀利用激光干涉現象來實現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優點。結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
-
SJ6000機床導軌激光干涉測量儀利用激光干涉現象來實現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優點。結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
-
SJ6000機床激光干涉精密測量系統集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
-
SJ6000高精度激光干涉儀測量設備具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等，廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域。
-
sj6000機床激光干涉測量校準系統具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
-
0.05ppm機床激光干涉儀利用激光干涉現象來實現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優點，在機床加工領域有著廣泛的應用。它集光、機、電、計算機等技術于一體，采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。
-
SJ6000機床激光干涉測量校準儀具有高測量精度和重復性，可以實現非接觸式測量方式，不會對被測量物體造成損傷。它結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
-
SJ6000激光干涉儀測量雙直線導軌安裝平行度采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點。
-
SJ6000激光干涉位移測量儀在動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
