電子束曝光技術是在計算機控制下,按照加工要求的圖形,利用聚焦后的電子束對基片上的抗蝕劑進行曝光,在抗蝕劑中產生具有不同溶解性能的區域,根據不同區域的溶解特性,利用具有選擇性的顯影劑進行顯影,溶解性強的抗蝕劑部分被去除,溶解性差或不溶的部分保留下來,就可以得到所需要的抗蝕劑圖形。正文編輯區域參考資料編輯區域
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電子束曝光技術是在計算機控制下,按照加工要求的圖形,利用聚焦后的電子束對基片上的抗蝕劑進行曝光,在抗蝕劑中產生具有不同溶解性能的區域,根據不同區域的溶解特性,利用具有選擇性的顯影劑進行顯影,溶解性強的抗蝕劑部分被去除,溶解性差或不溶的部分保留下來,就可以得到所需要的抗蝕劑圖形。正文編輯區域參考資料編輯區域
查看詳情摘要 GASONICS/NOVELLUSPEPIRIDIADL二手刻蝕機現貨制造商:GASONICS/NOVELLUS模型:PEPIRIDIADL類別:ETCHERS/ASHERS年份:2006年晶圓尺寸:8"設備詳情:Stripper/Asher
在線詢價摘要用于沉積納米級薄膜、納米粉末包覆、長深孔樣品鍍膜;具有Thermal-ALD、PEALD、Particle-ALD和生產型ALD;具備近100種膜層工藝。應用領域:芯片封裝、半導體High-k介電層、納米涂層、3D涂層、鋰電池、催化劑、太陽能電池、5G通訊(SAW器件...
在線詢價摘要Laser MBELaser MBE特點模塊化概念,Laser MBE可以輕松升級到傳輸模塊或其他模塊UHV PLD主腔室、利用Load-lock實現襯底和靶材的UHV傳輸*的工藝自動化功能,可實現超晶格生長溫度測量準確的耐氧襯底加熱器,1000 ℃,也可以選配激光加...
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