北京金時速儀器設備經營部
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四探針測試儀RTS-8
運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。
RTS-8型四探針測試儀
恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔；可連接電腦使用也可以不連接電腦使用，連接電腦使用帶自動測量功能，自動選擇適合樣品測試電流量程；高速并口通訊接口，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5秒（在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）；
RTS-8型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。
儀器采用了電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
RTS-8型四探針測試儀前面板
RTS-8型四探針軟件測試系統是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進行統計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶對數據進行各種數據分析
技 術 指 標 ：
測量范圍 | 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴展)； |
可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)； |
恒流源 | 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續可調 |
數字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； |
四探針探頭基本指標 | 間距：1±0.01mm； |
四探針探頭應用參數 | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測量相對誤差 | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
整機測量zui大相對誤差 | (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
整機測量標準不確定度 | ≤5% |
測試模式 | 可連接電腦測試也可不連接電腦測試 |
軟件功能（選配） | 軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數據，并統計分析測試數據zui大值、zui小值、平均值、zui大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數據生成直方圖， 也可把測試數據輸出到Excel中，對數據進行各種數據分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 |
計算機通訊接口 | 并口，高速并行采集數據，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。 |
標準使用環境 | 溫度：23±2℃； |
可配ST-102E 型探針測試臺
顯微鏡和 USB 接口 CCD 攝像頭共存的監視方式ST-102E 型探針測試臺與測試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數測試及功能調試，適用于科研、新品試制及小批量生產的中間測試。
技 術 指 標 ：
工作臺面 370mm*245mm
載物臺直徑 4"
可選二種放大倍數 *14-90 倍連續變倍；
*17.5-112.5 倍連續變倍；
監視方式 顯微鏡和 USB 接口 CCD 攝像頭共存的監視方式
光學參數 手輪調焦范圍：60mm；升降調焦范圍：200mm；
精密旋轉臺 粗調范圍：360°；微調范圍：±10°；zui小刻劃：1°；
銅盤直徑：Φ85mm；絕緣盤直徑：Φ102mm
三維探針座
探針座 X、Y、Z 方向調節范圍：±3.25mm，分辨率±2µ；
三維探針座在工作臺面可任意位置固定，由磁性開關控制；
zui多可布三維探針座 6 個；
探針臂伸出長度：60mm；探針長度：40mm；
探針 探針材質硬質合金，針尖曲率半徑 2µm；標準配置：主工作臺、顯微鏡、USB 接口 CCD 攝像頭、三維微調座 2 個、探針臂 2 支、探針 2 支。可選配件：三維微調架、探針臂、探針、真空泵。可按用戶的實際需求進行訂做。
電動臺
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