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    質量流量控制器 型號;DP-D07-7B

    時間:2015-7-27閱讀:299
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      北京亞歐德鵬科技有限公司
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    質量流量控制器         型號;DP-D07-7B

     

    DP-D07-7B型 質量流量控制器

    儀器簡介:

    質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量行地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

    參數:

    滿量程流量范圍(N2)

    5SCCM~10SLM

    控制范圍

    2~100%F.S.

    閥類型(及閥初始狀態)

    電磁調節閥(常閉)

    準確度

    ±1.5%F.S.

    線性

    ±0.5~1.5%F.S.

    重復精度

    ±0.2%F.S.

    響應時間

    ≤7sec

    工作溫度范圍

    5~45℃

    工作壓差

    0.1~0.5MPa

    耐壓

    3MPa

    漏氣率

    1×10-8atm.cc/sec He

    密封材料

    氟橡膠(或氯丁橡膠)

    電插頭形式

    DB15 pin(Female)

    接頭選擇

    VCR 1/4"或φ4hose、φ6hose
    Swagelok 1/4"或φ6、φ3

    重量

    1.1Kg

     


     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

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