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    數(shù)字式四探針測試儀/四探針測試儀DP-SZT-2000

    時間:2015-5-27閱讀:312
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    數(shù)字式四探針測試儀/四探針測試儀/數(shù)字式四探針檢測儀 型號:DP-SZT-2000

    DP-SZT-2000型數(shù)字式四探針測試儀是根據(jù)四探針測試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置,它可以測量棒狀、塊狀

    半導體材料的電阻率和半導體擴散層的薄層電阻行測量,可以從10-6--105Ω—cm全量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電阻,是硅材料質量監(jiān)測的必需儀器。

    儀器為臺式結構,分為電氣箱、測試架兩大部分,用戶可以根據(jù)測試需要安放在般工作臺或者用工作臺上,測試架由探頭及壓力傳動機構、樣品架組成,耐磨和使用壽命長的點。探頭內(nèi)設有彈簧壓力裝置,壓力從0—2Kg連續(xù)可調,測試架設有手動和電動兩種裝置供用戶選購。

    儀器電氣箱主要由靈敏的直流數(shù)字電壓表和穩(wěn)定的恒流源組成,測量結果由數(shù)字直接顯示,儀器有自校量程,可以方便地對儀器的電氣性能行校驗。

    儀器具有測量精度、靈敏度、穩(wěn)定性好、測量范圍廣、結構緊湊、使用方便等點,儀器適用于半導體材料廠、器件廠、科學研究、等院校,對半導體材料的電阻性能測試及工藝檢測。

    儀器主要指標:

    1.  范圍:電阻率10-4—103Ω—cm,可擴展至105Ω—cm,分辯率為10-6Ω—cm

             方塊電阻10-3—103Ω /□

             電阻10-6—105Ω

    2.  可測半導體尺寸:直徑Φ15—150mm

    3.  測量方式:軸向、斷面均可(手動測試架)

    4.  數(shù)字電壓表(1)量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V

      (2)測量誤差 0.2mV檔±(0.3%讀數(shù)+8字)

                  2 mV檔以上±(0.3%讀數(shù)+2字)

      (3)輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω

                  20mV檔以上>108Ω

      (4)顯示3 1/2位數(shù)字顯示,0—1999

    具有性和過載自動顯示,小數(shù)點、單位自動顯示

    5.  恒流源:(1)電流輸出:直流電流0—100mA連續(xù)可調,由交流電源供給

       (2)量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五檔

       (3)電流誤差:±(0.3%讀數(shù)+2字)

    6.四探針測試探頭  (1)探頭間距:1mm   (2)探針機械游率:±0.3%

                       (3) 探針:Φ0.5mm    (4)壓力:可調

      7. 測試架:

      (1)手動測試架:探頭上升及下降由手動操作,可以用作軸向和斷面的單晶棒和硅片測試。

      (2)電動測試架:探頭的上升和下降由電動操作,設有自動控制器控制,探頭上升時間1S—99S可調,探頭下降時間1S—99S可調,壓力恒定可調(由砝碼來設定)同時設有腳踏控制裝置由腳踏開關控制探頭上下運動。

       8.電流:220V±10% 50HZ或60HZ:功率消耗<35W

    9.    外形尺寸:電氣箱130×110×400mm

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