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安捷倫真空泵分子泵組: TPS-移動型渦輪分子泵組 TPS-flexy 渦輪分子泵組 TPS-mini渦輪分子泵組 TPS緊湊型渦輪分子泵組 IDP-3

真空規管及顯示儀表: 瑞士INFICON真空計 Granville-Phillips真空規管及顯示器 INFICON真空規管及顯示器英國EDWARDS真空規管及顯示儀表

石英晶體膜厚控制儀: INFICON晶控探頭維修配件 MAXTEK INFICON

HTC真空閥: APC真空鐘擺閥 HTC真空蝶閥

INFICON檢漏儀: 超聲波檢漏儀易燃性氣體檢漏儀一氧化碳檢測儀冷媒檢漏儀氦質譜檢漏儀

Htc 真空管件: Htc 金屬真空波紋（軟）管 Htc 彎頭管件 Htc 三通管件 Htc 四通/十字通管件 Htc 真空轉接管件

真空開關及真空饋入件: 瑞士INFICON公司

HTC 真空轉接頭: HTC 管狀直通型轉接頭 HTC 圓錐形大小頭轉接頭 HTC KF轉其他形式轉接頭

石英晶振片: 美國MAXTEK晶振片美國INFICON晶振片

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四極質譜分析儀: 瑞士INFICON四極質譜

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質量流量計: Vogtlin流量計 MKS流量計

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HTC 中心圈: HTC KF中心圈系列 HTC ISO中心圈系列

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變形鏡

低溫黑體及大面源黑體

高精度線切割機

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壓電閥及自動壓強控制儀: 瑞士INFICON氣體壓強控制儀美國HEY壓電閥

非標真空設備

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真空系統前級泵抽速選擇

時間：2016-6-14閱讀：1829

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前級泵抽速選擇

排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的zui大氣體量排走，根據管路中，各截面流量恒等的原則有：

PnSg≥PgS 或

Sg≥Pgs/Pn

Sg－前級泵的有效抽速(l/s)

Pn－主泵臨界前級壓強(zui大排氣壓強)(l/s)

Pg－真空室zui高工作壓強(托)

S－主泵工作時在Pg時的有效抽速。(l/s)

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