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    INFICON薄膜鍍層控制儀的性能特點

    時間:2015-9-8閱讀:2055
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    INFICON薄膜鍍層控制儀的性能特點:
     
    a)INFICON Modelock技術確保的穩定性,甚至在非常低的速率下也能有zui高的分辨率和膜厚測量精度。
    b)Auto Z由自動確定沉積材料的Z-比值來提高膜厚的精度。
    c)同時多至6個蒸發源的共鍍膜。
    d)彩色的TFT LCD顯示器使您對整個鍍膜進程一目了然。
    e)掃描100毫秒樣品的分辨率為+/-0.0035Hz。
    f)USB數據貯存用于截屏,配方貯存和數據記錄。
    g)強有力的I/O具有靈活性(用擴展的輸入(28)和輸出(24繼電器,14TTL輸出)集成在單個或復雜系統中,和使用邏輯功能(100邏輯語句)
    h)6DAC輸出標準,6個用于源控制,速率或膜厚監測的附加選件。
    i)容納50過程,每過程200膜層,可鏈接zui大10,000膜層。
    j)多傳感謝器取平均值,多至8傳感器。
    k)顯示速率分辨高至0.001A/秒
    l)4米XIU選件為大型系統提供可使用長的真空內傳感器電纜的能力。
    m)以太網通訊選件。
    n)RoHS認證

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