1、隔膜真空泵的極限壓強：泵的極限壓強單位是Pa，是指泵在入口處裝有標準試驗罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的zui低壓強。
2、隔膜泵的抽氣速率：泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標準試驗罩，并按規(guī)定條件工作時，從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩位置測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速。
3、隔膜泵的抽氣量隔膜泵的抽氣量單位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵入口的氣體流量。
4、隔膜泵的起動壓強：隔膜泵的起動壓強單位為Pa，它是指泵無損壞起動并有抽氣作用時的壓強。
5、泵的前級壓強：隔膜泵的前級壓強單位是Pa，它是指排氣壓強低于一個大氣壓的隔膜泵的出口壓強。
6、隔膜泵的zui大前級壓強：隔膜泵口zui大前級壓強單位是Pa，它是指超過了能使泵損壞的前級壓強。
7、隔膜泵的zui大工作壓強：隔膜泵的zui大工作壓強單位是Pa，它是指對應zui大抽氣量的入口壓強。在此壓強下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
8、壓縮比：是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。
9、何氏系數(shù)泵抽氣通道面積上的實際抽速與該處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
10、抽速系數(shù)：泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
11、返流率：泵的返流率單位是g/cm2.s。它是指泵按規(guī)定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流率。
12、水蒸氣允許量：水蒸氣的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。
13、zui大允許水蒸氣入口壓強：zui大允許水蒸氣入口壓強單位是Pa。它是指在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時所能抽除的水蒸氣的zui高入口壓強。
