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    石英晶振片的原理

    時間:2015-6-2閱讀:3023
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    隨著經濟的發展和社會生活水平的提高,真空鍍膜技術在越來越多的領域使用,如何監控淀積的膜厚,目前采用石英晶體振蕩監控法和光學膜厚監控法,我司多年來的經驗與同仁共同控討。
     
    石英晶振片原理
     
    石英晶體法監控膜厚,主要是利用了石英晶體的壓電效應和質量負荷效應。當晶振片上鍍了某種膜層,使晶振片的厚度增加,則晶振片的固有頻率會相應的變化。
     
    顯然晶體的基頻越高,控制的靈敏度也越高,但基頻過高時,晶體片會做得很薄,很薄的晶體片易碎,一般選用AT切型頻率5~10MHz。采用AT切晶體片,其振動頻率對質量的變化極其靈敏,但卻不敏感于溫度的變化,具有精度高、靈敏度好等*的優勢,非常適合于真空薄膜淀積中的膜厚監控。

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