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深圳市科銳詩汀科技有限公司

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真空規(guī)管及顯示儀表: 瑞士INFICON真空計 Granville-Phillips真空規(guī)管及顯示器 INFICON真空規(guī)管及顯示器英國EDWARDS真空規(guī)管及顯示儀表

石英晶體膜厚控制儀: INFICON晶控探頭維修配件 MAXTEK INFICON

HTC真空閥: APC真空鐘擺閥 HTC真空蝶閥

INFICON檢漏儀: 超聲波檢漏儀易燃性氣體檢漏儀一氧化碳檢測儀冷媒檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀

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真空開關(guān)及真空饋入件: 瑞士INFICON公司

HTC 真空轉(zhuǎn)接頭: HTC 管狀直通型轉(zhuǎn)接頭 HTC 圓錐形大小頭轉(zhuǎn)接頭 HTC KF轉(zhuǎn)其他形式轉(zhuǎn)接頭

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磁控濺射陰極技術(shù)及特點

時間：2015-4-22閱讀：2069

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磁控濺射陰極核心技術(shù)及特點：

1.特殊設(shè)計的磁體結(jié)構(gòu)，使得磁場線跨度范圍更寬，從而提高靶材的利用率和膜層的均勻性

2.湍流冷卻技術(shù)，使得水流能夠更平緩的進入陰極，從而提高冷卻效果

3.特殊設(shè)計的耙材固定結(jié)構(gòu)，使得耙材更換起來更簡單，降低停工期

4.*的磁體材料 NdFeB，他的強度比其他的稀土磁體要強30%

磁控濺射陰極優(yōu)勢

1.*的靶材利用率，zui高可以達到50%，從而降低靶材成本

2.*的產(chǎn)品均勻性，zui高可以達到±3%

3.可以在更低的真空以及更高的功率下運行：zui低壓力可以達到10-4TOR

4.我們的直接水冷結(jié)構(gòu)可以提高其功率密度達到250Watt s/in2

5.提高沉積速率

6.多樣的復(fù)合設(shè)計

7.高標(biāo)準(zhǔn)率

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