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    XTC/3-薄膜鍍層控制儀的用途特點及技術規范

    時間:2011-6-17閱讀:2775
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    XTC/3-薄膜鍍層控制儀的用途特點及技術規范

    特 點
    ■有單膜層和多膜層型號
    ■ModelLock技術防止由于模式跳躍導致的膜厚誤差
    XTC/3M多膜層型號支持多至99個工藝過程,999個膜層,32個鍍層,2個
    傳感器和兩個源
    支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix®和雙探頭自動晶體切換,用于zui高生產率
    易閱讀的TFT LCD圖形顯示器
    XTC/3S單膜層型號支持多至9個鍍層,2個傳感器和兩個源
    有以太網連接軟件
    單獨運行(無需計算機)或用PC運行的Windows®軟件選件
    為便于檢索,可*的和描述性的薄膜與過程名稱
    ■INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換見(限于XTC/2功能和指令組)
     
        用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3裝備有ModelLock1技術,提供可靠的模式跳躍防 止功能,可達到始終如一的鍍膜質量。使用XTC/3 薄膜鍍層控制儀,可高度地控制鍍膜速率與膜層厚度,具有能控制幾乎任何膜層數量的能力。容易安裝和*的可靠性,可確保高的生產率。
     

     
    技術規范
    功能,參數,或技術規范
    XTC/3S單層膜
    XTC/3M多層膜
    測量分辨的頻率變化
    0.05Hz
    0.05Hz
    測量區間
    0.25
    0.25
    厚度和速率分辨/測量
    0.06A,在工具/密度=100
    0.06A,在工具/密度=100
     
    基頻=6M Hz
    基頻=6M Hz
    支持XTAL2轉換
    計算機通訊
    RS232標準,以太網TCP/IP選件
    RS232標準,以太網TCP/IP選件
    zui大RS232波特率
    115.2千波特
    115.2千波特
    繼電器數
    12標準, 無事例可
    12標準, 事例可
    可編程繼電器功能數
    1
    1
    每個繼電器功能
    1
    1
    繼電器電壓額定值
    30伏直流或30伏交流RMS30伏直流
    30伏直流或30伏交流RMS30伏直流
     
    42V,2.5
    42V,2.5
    輸入數
    8TTL, 24伏直流zui大
    8TTL, 24伏直流zui大
    可編程輸入功能數
    1, 無事例可
    1, 事例
    記入儀輸入數
    1
    1
    手動電源/手持控制器
    排風扇
    測試模式
    擋光器延遲
    次級工具
    zui大允許相移頻率
    1.0 M Hz
    1.0 M Hz
    機箱尺寸
    1/2機架,2U高度
    1/2機架,2U高度
    速率和膜厚顯示分辨
    0.1A, 0.099.9A/;1A/,
    100999A/
    0.1A, 0.099.9A/;1A/,
    100999A/
     
    顯示膜厚分辨=1A
    顯示膜厚分辨=1A
    通過輸入選擇鍍層
    用戶指導語言
    英文,中文
    英文,中文
    控制環
           PID
    PID
    數據登錄
    質量和穩定性功能
    樣品和保持
    坩堝選擇
    坩堝反饋輸入
    選擇控制電壓極性
    是,+/-2.5510
    是,+/-2.5510
     
    15-位分辨率
    15-位分辨率
    程序鎖定碼
           
           
    用戶標簽過程/鍍層
           
           
    XTC/2 RS232通訊兼容性
    是(有限的)
    是(有限的)

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