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    CPM四極質譜分析儀特點詳細分析

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    CPM四極質譜分析儀

    CPM 的特點
    ■    用于監測復雜過程的四極氣體分析系統.
    ■    允許7 天24 小時連續監測,達到zui大的產額和產量, 從而將成本降至zui低.
    ■    內置CDG, 用于過程壓強監測和真空聯鎖.
    ■    HexBlock 取樣系統的*性能.
    ■    備有可選的校準參考源, 用于調諧和氣體參.
    ■    足夠的小型和性能,可安裝在壓強很高的真空室內.
    ■    封閉的長壽命離子源可在阻擋大多數腐蝕性和反應性氣體的同時,檢測亞ppm 量級的污染物.
    ■ 重量輕,易搬運.
     
    用戶*性
    INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下實現現場早期報警:
    ■    測量氣相反應;
    ■    定性氣體純度.
    ■    測量過程與本底的組分;
    ■    鑒別痕量污染物;
    ■   驗證真空的完整性;
     
    CPM 良好的適配性
    空間是可貴的,我們的CPM占空間小,可靈活安裝.為對被分析氣體影響zui小和在寬壓強范圍內快速提供結果,我們開發了多功能的HexBlock 注入口. 為確保zui高的
    性能與可靠性, 我們采用已在12,000 臺以上Transpector 2 氣體分析系統上得到驗證的四極傳感器.為適應某些復雜應用,如刻蝕和CVD 中存在腐蝕性*的氣體, 我們采用化學惰性優等的316 不銹鋼加工。
     
    支持
    作為半導體市場RGA 產品的者, INFICON 具有發展創新與可靠的,增長產量的監測系統資源,加上應用網絡,需要時可隨時隨地提供專家支持與協助.
     
     
    技術特點

    1) 帶EM 的NDPP 在10,000 增益和1-秒停留時間下  

    2 )質量數40 對41amu 的貢獻

    3 )零blast 對2amu 的貢獻

    4 )低發射下的總壓強精度

    5 )低發射下的線性,在0.1 至2 倍常規小孔壓強下

    6 )使用總壓強規管在低發射下的壓強調值

    7 )zui小可檢濃度,氪在空氣中在1-秒停留時間下

    8 )在封閉型離子源中2E-4 乇,在四極場范圍中將產生約1E-5 乇

    9 )低發射下離子源zui大工作壓強(燈絲關斷閾值)

    10) zui小EM 增益在zui大EM 電壓下

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