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科技名詞定義
中文名稱：真空鍍膜 英文名稱：vacuum deposition 定義：在真空條件下，對光學零件鍍膜的工藝過程。 所屬學科：機械工程（一級學科）；光學儀器（二級學科）；光學儀器一般名詞（三級學科） 本內容由全國科學技術名詞審定委員會審定公布
百科名片
真空鍍膜一種產生薄膜材料的技術。在真空室內材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。此項技術用于生產激光唱片（光盤）上的鋁鍍膜和由掩膜在印刷電路板上鍍金屬膜.
真空鍍膜安全操作規程展開 簡介
真空鍍膜 在真空中制備膜層，包括鍍制晶態的金屬、半導體、絕緣體等單質或化合物膜。雖然化學汽相沉積也采用減壓、低壓或等離子體等真空手段，但一般真空鍍膜是指用物理的方法沉積薄膜。真空鍍膜有三種形式，即蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。
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