干泵的組成及原理：
美國ELIVAC的ESCD系列無油渦旋真空泵由泵頭、電機和機座構(gòu)成。泵頭含有動、定渦旋盤、曲軸、密封件、風扇和泵殼組成。渦旋盤為圓形平面和其上伸出的一條或幾條漸開線螺旋盤壁組成，定渦旋盤與動渦旋盤組成渦旋盤構(gòu)成無油渦旋真空泵的基本抽氣機構(gòu)。工作過程中動、定渦旋盤互不接觸，依靠相對運動形成容積不斷縮小的新月形吸氣腔和壓縮腔，通過吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出，實現(xiàn)對被抽腔體抽真空。
干泵的應(yīng)用領(lǐng)域：
真空封裝、存儲。
真空爐。
排氣臺。
烘箱、冷凍干燥
氣體回收、再循環(huán)。
制冷、空調(diào)管路抽真空。
制動、管路抽真空。
激光抽真空。
分子泵前級。
工藝預抽真空。
鍍膜。
檢漏。
手套箱。
質(zhì)譜儀。
電子顯微鏡。
高能束線、加速器。
高真空試驗臺。
樣品制備。
美國ELIVAC的ESCD系列無油渦旋真空泵特點：
工作可靠。
ESCD系列無油渦旋真空泵在半導體、航空航天、石油化工、食品藥品、電力、能源、環(huán)保、汽車、分析測試儀器等行業(yè)生產(chǎn)線上常年連接運行，穩(wěn)定可靠。為各行業(yè)生產(chǎn)和科學研究用戶信賴。
性能。
對被抽系統(tǒng)無油污染，創(chuàng)造潔凈的真空環(huán)境。
噪音低，振動小，溫升低，密封材料性能優(yōu)異、壽命長達5年，可可耐用。
排氣機構(gòu)部件互不接觸，無摩擦，效率高；沒有返油與水蒸汽，不噴油，節(jié)能環(huán)保。
極限壓力低至1Pa以下，可替代油旋片真空泵。
性價比高。
價格合理，節(jié)省采購成本。
運動件無摩擦能耗低，配件質(zhì)優(yōu)價廉，服務(wù)及時可靠，節(jié)省運行成本。
不需要冷卻水和潤滑油，不需要日常維護，節(jié)省人工費用。
