真空測量儀是新一代智能復合真空測量儀。采用單片微機進行數據處理，真空度讀數數字顯示，測量結果直觀、明確、讀數方便。
真空測量儀：電離規管的除氣可以自動或手動進行。采用數據記憶電路，熱偶部分可在校準時直接將與熱偶電勢相對應的真空度數值，通過面板上的按鈕置人儀器內部記憶單元。儀器可按有限個校準點構成的校準曲線進行真空度測 量。電離部分則可以將電離規管的校準系數置入儀 器內部記憶單元。測量時可以對讀數進行修正，測量精度高。采用帶有反饋環節的D/A電路控制熱偶加熱電流的大小，熱偶加熱電流可以數字設定， 簡單、方便、直觀、準確。量程自動切換。當真空度下降，超出電離規管測量范圍時，儀器可以自動停止電離部分工作，顯示熱偶部分測量數據。當真空度提高時，則可自動啟動電離部分工作。采用研制的面板嵌裝式打印機，能打印真空度 —時間曲線或真空度—時間數據。兩種打印方式可由用戶選擇，打印數據時，時間間隔可由用戶選擇。打印曲線時，真空度采用對數座標。真空系統真空度隨時間變化的趨勢一目了然.真空度單位可自動轉換。具有多種測量顯示模式，顯示方式靈活多樣。帶有三個繼電器觸點，動作真空度可以數字設定。當真空度高于0.01Pa時，可以自動標定熱偶規管的加熱電流。儀器帶有RS-485/232串行數據通訊接口，與上位計算機通訊方便。
真空測量儀：帶對數/線性特性的0-10V可編程圖表輸出，適用于單個或組合規（后者VGC402/403）。高分辨率- 16位A/D轉換。自動識別被連接上的INFICON的真空規。用戶可選擇測量單位（mbar, Torr, Pascal, micron）。多達6個帶遲滯調整的可調設點，可分配到任意通道。通用緊湊的臺式設計，可以輕松安裝在面板或19"機架上。大范圍電源匹配：90V-250V，50-60 Hz
