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52次HYDAC賀德克壓力傳感器HDA8400是利用單晶硅的壓阻效應而構(gòu)成的。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當壓力發(fā)生變化時，單晶硅產(chǎn)生應變，使直接擴散在上面的應變電阻產(chǎn)生與被側(cè)壓力成正比的變化，再由橋式電路獲相應的電壓輸出信號。
賀德克壓力傳感器的分類：
多傳感器信息融合技術(shù)的基本原理就像人的大腦綜合處理信息的過程一樣，將各種傳感器進行多層次。多空間的信息互補和優(yōu)化組合處理，較終產(chǎn)生對觀測環(huán)境的一致性解釋。在這個過程中要地利用多源數(shù)據(jù)進行合理支配與使用，而信息融合的較終目標則是基于各傳感器獲得的分離觀測信息，通過對信息多級別，多方面組合導出更多有用的信息。這不僅利用了多個傳感器相互協(xié)同作的優(yōu)勢，而且也綜合處理了其他信息源的數(shù)據(jù)來提高整個傳感器系統(tǒng)的智能化。
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