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64次HYDAC賀德克壓力傳感器HDA8400是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成的。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當(dāng)壓力發(fā)生變化時，單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變，使直接擴散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被側(cè)壓力成正比的變化，再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號。
賀德克壓力傳感器的分類：
多傳感器信息融合技術(shù)的基本原理就像人的大腦綜合處理信息的過程一樣，將各種傳感器進(jìn)行多層次。多空間的信息互補和優(yōu)化組合處理，較終產(chǎn)生對觀測環(huán)境的一致性解釋。在這個過程中要地利用多源數(shù)據(jù)進(jìn)行合理支配與使用，而信息融合的較終目標(biāo)則是基于各傳感器獲得的分離觀測信息，通過對信息多級別，多方面組合導(dǎo)出更多有用的信息。這不僅利用了多個傳感器相互協(xié)同作的優(yōu)勢，而且也綜合處理了其他信息源的數(shù)據(jù)來提高整個傳感器系統(tǒng)的智能化。
壓力傳感器是使用較為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的傳感器以機械結(jié)構(gòu)型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結(jié)構(gòu)尺寸大，質(zhì)量重，不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體壓力傳感器也應(yīng)運而生。其特點是，體積小，質(zhì)量輕，準(zhǔn)確度高，溫度性特好。
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