臭氧消毒設備主要用于食品藥品化妝品等的加工車間和類似場所的空氣滅菌和物體表面滅菌。臭氧消毒機按安裝形式可分為：移動式、壁掛式、吊燈式、落地式等。臭氧消毒設備在制藥廠GMP車間和HVAC系統配套使用時，通常分為內置式和外置式兩種。使用臭氧發生器制取臭氧的機器稱為臭氧消毒機，這里臭氧作為消毒劑使用。
臭氧消毒設備的滅菌原理：
臭氧是一種強氧化劑，滅菌過程屬生物化學氧化反應。O3滅菌有以下3種形式
臭氧能氧化分解細菌內部葡萄糖所需的酶，使細菌滅活死亡。
直接與細菌、作用，破壞它們的細胞器和DNA、RNA，使細菌的新陳代謝受到破壞，導致細菌死亡。
透過細胞膜組織，侵入細胞內，作用于外膜的脂蛋白和內部的脂多糖，使細菌發生通透性畸變而溶解死亡。
臭氧消毒設備的滅菌優勢：
臭氧滅菌為溶菌級方法，*，無殘留，廣譜，可殺滅細菌繁殖體和芽孢、、真菌等，并可破壞肉毒桿菌毒素。另外，O3對霉菌都有殺滅作用。O3由于穩定性差，很快會自行分解為氧氣或單個氧原子，而單個氧原子能自行結合成氧分子，不存在任何有毒殘留物，所以，O3是一種無污染的消毒劑。O3為氣體，能迅速彌漫到整個滅菌空間，滅菌*。而傳統的滅菌消毒方法，無論是紫外線，還是化學熏蒸法，都有不*、有死角、工作量大、有殘留污染或有異味等缺點，并有可能損害人體健康。如用紫外線消毒，在光線照射不到的地方沒有效果，有衰退、穿透力弱、使用壽命不長等缺點。化學熏蒸法也存在不足之處，如對抗藥性很強的細菌和，則效果不明顯。
活性氧(臭氧)滅菌消毒作用體現在它的強氧化性上，是綠色廣譜的消毒滅菌劑。廣泛用于飲用水消毒，醫療衛生機構空氣消毒，臭氧會在30-40分鐘后自動還原成氧氣，沒有化學殘留二次污染。所應用的領域有消毒柜、果蔬機，婦科治療儀、食品加工、飲用水灌裝消毒設備等。詳情可以查閱科普圖書資料或網上查詢以驗證。
