【儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】由湖南省美程陶瓷科技有限公司牽頭制定的湖南省地方標(biāo)準(zhǔn)《傳感器用陶瓷基片通用技術(shù)條件》已完成征求意見(jiàn)稿。按照《地方標(biāo)準(zhǔn)管理辦法》的規(guī)定，現(xiàn)面向全社會(huì)公開(kāi)征求意見(jiàn)。
長(zhǎng)期以來(lái)，我國(guó)壓力傳感器陶瓷主要依靠進(jìn)口，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的產(chǎn)品在質(zhì)量、性能、可靠性方面與國(guó)外產(chǎn)品有較大差距，導(dǎo)致國(guó)內(nèi)壓力傳感器需求廠家只好從國(guó)外購(gòu)置來(lái)滿足需求，隨著對(duì)工業(yè) 4.0產(chǎn)業(yè)升級(jí)和汽車智能化(無(wú)人駕駛)產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，對(duì)壓力傳感器的需求越來(lái)越大，品質(zhì)規(guī)格也越來(lái)越精細(xì)化，要求生產(chǎn)企業(yè)更注重專業(yè)化、規(guī)?；?、自動(dòng)化生產(chǎn)，提升產(chǎn)品自身的技術(shù)水平和技術(shù)含量，才能實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整與升級(jí)，增強(qiáng)產(chǎn)品的國(guó)際市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。
陶瓷基片是傳感器系統(tǒng)中的核心部件，關(guān)系到傳感器系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)、布局和可靠性，關(guān)系到傳感器系統(tǒng)的電氣連接、物理支撐等工藝流程。目前傳感器用陶瓷基片主要材質(zhì)是氧化鋁陶瓷，這種厚膜壓力傳感器成本低、耐高溫、耐腐蝕，可直接接觸腐蝕性液體和氣體，無(wú)需通過(guò)不銹鋼膜片和硅油隔離。與金屬、半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)相比，避免了由于粘結(jié)劑老化或變質(zhì)而引起的蠕變和遲滯，在水文、石化、冶金等行業(yè)中占有越來(lái)越重要的地位。然而行業(yè)對(duì)于這種陶瓷厚膜壓力傳感器暫無(wú)國(guó)家、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，行業(yè)缺少基本的評(píng)價(jià)規(guī)則，導(dǎo)致了傳感器用陶瓷基片在生產(chǎn)和銷售環(huán)節(jié)上的低價(jià)格、低質(zhì)量的惡性競(jìng)爭(zhēng)。
因此，有必要對(duì)傳感器用陶瓷基片的外觀質(zhì)量、尺寸偏差、體積密度、熱膨脹系數(shù)、體積電阻率等進(jìn)行系統(tǒng)的研究，將傳感器用陶瓷基片質(zhì)量和性能表征規(guī)范化，為傳感器用陶瓷基片的產(chǎn)品質(zhì)量的檢測(cè)和評(píng)價(jià)提供一套完整的方法，杜絕低價(jià)格、低質(zhì)量的惡性競(jìng)爭(zhēng)，保障傳感器用陶瓷基片的質(zhì)量，促進(jìn)傳感器用陶瓷基片的推廣應(yīng)用。
本標(biāo)準(zhǔn)首先對(duì)傳感器用陶瓷基片的外觀質(zhì)量、尺寸偏差、體積密度、熱膨脹系數(shù)、體積電阻率等進(jìn)行了系統(tǒng)的研究，在此基礎(chǔ)上確定了傳感器用陶瓷基片的性能指標(biāo)、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存要求。
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范性引用文件包括：GB/T 1409 測(cè)量電氣絕緣材料在工頻、音頻、高頻(包括米波波長(zhǎng)存內(nèi))下電容率和介質(zhì)損耗因數(shù)的推薦方法；GB/T 2828.1 計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序 第1部分：按接收質(zhì)量限(AQL)檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃；GB/T 5593 電子元器件結(jié)構(gòu)陶瓷材料；GB/T 5594.2 電子元器件結(jié)構(gòu)陶瓷材料性能測(cè)試方法 楊氏彈性模量、泊松比測(cè)試方法；GB/T 5594.3 電子元器件結(jié)構(gòu)陶瓷材料性能測(cè)試方法 第3部分：平均線膨脹系數(shù)測(cè)試方法；GB/T 5594.4 電子元器件結(jié)構(gòu)陶瓷材料性能測(cè)試方法 第4部分：介電常數(shù)和介質(zhì)損耗角正切值的測(cè)試方法；GB/T 5594.5 電子元器件結(jié)構(gòu)陶瓷材料性能測(cè)試方法 體積電阻率測(cè)試方法；GB/T 6062 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS) 表面結(jié)構(gòu) 輪廓法 接觸(觸針)式儀器的標(biāo)稱特性；GB/T 6569 精細(xì)陶瓷彎曲強(qiáng)度試驗(yàn)方法；GB/T 6900 鋁硅系耐火材料化學(xué)分析方法；GB/T 22588 閃光法測(cè)量熱擴(kuò)散系數(shù)或?qū)嵯禂?shù)；GB/T 25995 精細(xì)陶瓷密度和顯氣孔率試驗(yàn)方法；GB/T 30859 太陽(yáng)能電池用硅片翹曲度和波紋度測(cè)試方法；RoHS 2011/65/EU 及修訂指令(EU)2015/863 關(guān)于限制在電子電器設(shè)備中使用某些有害成分的指令。
試驗(yàn)方法：
1.外觀
1.1 表面質(zhì)量的檢驗(yàn)肉眼觀察，檢驗(yàn)可在20W日光燈、節(jié)能護(hù)眼燈(11W-14W)或自然光下進(jìn)行。對(duì)于產(chǎn)品進(jìn)行檢驗(yàn)時(shí)，可借助二次元儀器，變換不同角度進(jìn)行觀察，測(cè)缺陷數(shù)據(jù)時(shí)采用千分尺進(jìn)行測(cè)量。
1.2 裂紋和氣孔區(qū)域(能滲透的)應(yīng)用染料滲透劑試驗(yàn)。將瓶裝藍(lán)墨水倒入一容器內(nèi)，藍(lán)墨水占容器的三分之二，將待檢測(cè)產(chǎn)品放入藍(lán)墨水中，墨水覆蓋整個(gè)產(chǎn)品。靜置15分鐘后，取出產(chǎn)品，將產(chǎn)品表面的藍(lán)墨水清水洗凈，在20W的日光燈下進(jìn)行檢測(cè)。
2. 尺寸偏差和公差
2.1 用檢具檢驗(yàn)導(dǎo)電管的三個(gè)孔的尺寸。
2.2 采用專用的檢測(cè)治具鎖緊在高度規(guī)上，以產(chǎn)品面為基準(zhǔn)，數(shù)據(jù)清零。然后再將治具放入孔內(nèi)。得到的尺寸即為孔深。
2.3 長(zhǎng)度和寬度使用精確度為0.001mm的數(shù)顯千分尺或其他能夠保證測(cè)量準(zhǔn)確度的測(cè)量?jī)x器測(cè)量。
2.4 厚度使用準(zhǔn)確度為0.001mm的千分尺或其他能夠保證測(cè)量準(zhǔn)確度的測(cè)量?jī)x器測(cè)量，測(cè)量點(diǎn)最少應(yīng)距基片邊緣1mm。
2.5 翹曲度按GB/T 30859規(guī)定的要求進(jìn)行試驗(yàn)。
型式檢驗(yàn):
型式檢驗(yàn)的樣品直接從出廠檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品中抽取或根據(jù)檢驗(yàn)要求進(jìn)行制作，按照表6規(guī)定的要求進(jìn)行。有下列情況之一時(shí)應(yīng)做型式檢驗(yàn)：
a)首批生產(chǎn)時(shí)；
b)正常生產(chǎn)時(shí)每年檢驗(yàn)一次；
c)原料或生產(chǎn)工藝改變可能影響產(chǎn)品質(zhì)量時(shí)；
d)停產(chǎn)半年或以上，恢復(fù)生產(chǎn)時(shí)；
e)出廠檢驗(yàn)結(jié)果與上次型式檢驗(yàn)結(jié)果存在較大差異時(shí)。
出廠檢驗(yàn):
如果出廠檢驗(yàn)的所有項(xiàng)目符合表4和表5的規(guī)定，則該批陶瓷基片產(chǎn)品合格；如有一項(xiàng)不合格，應(yīng)從同一批產(chǎn)品中抽取雙倍數(shù)量的基片對(duì)不合格項(xiàng)目進(jìn)行復(fù)檢。復(fù)檢合格時(shí)，判該批產(chǎn)品合格；復(fù)驗(yàn)仍不合格時(shí)，則該批次產(chǎn)品不合格。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于湖南省內(nèi)傳感器用陶瓷基片。
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