“納米幾何特征參量計量標(biāo)準(zhǔn)器在先進(jìn)制造產(chǎn)業(yè)應(yīng)用示范”通過驗收

　　【儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】9月10日，中國計量科學(xué)研究院在北京組織召開國家重點研發(fā)計劃項目NQI重點專項“納米幾何特征參量計量標(biāo)準(zhǔn)器研究及應(yīng)用示范”項目下設(shè)課題績效評價會議。蘇州計量院作為課題“納米幾何特征參量計量標(biāo)準(zhǔn)器在先進(jìn)制造產(chǎn)業(yè)應(yīng)用示范”承擔(dān)單位參加了此次會議。
 

　　會上，課題負(fù)責(zé)人朱建榮副院長針對課題內(nèi)容研究進(jìn)展情況、考核指標(biāo)完成情況、取得的重要成果效益及人員資金投入使用情況進(jìn)行了匯報，并回答專家質(zhì)詢。課題針對先進(jìn)制造產(chǎn)業(yè)缺乏完善的納米計量量傳體系、與產(chǎn)業(yè)相脫節(jié)的問題，建立納米領(lǐng)域的掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)裝置、掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)裝置等社會公用計量標(biāo)準(zhǔn)，統(tǒng)一全國納米量值，實現(xiàn)到國家計量基準(zhǔn)的直接溯源，保障產(chǎn)業(yè)中各類納米儀器的量值準(zhǔn)確可靠。通過自主研制表面粒子計數(shù)器、粒子發(fā)生系統(tǒng)，制定溯源方案，實現(xiàn)高等級潔凈間中設(shè)備、材料表面塵埃檢測。針對新型平板顯示、空氣凈化、納米制造、精密加工等先進(jìn)制造產(chǎn)業(yè)中關(guān)鍵微納幾何值溯源方法缺失的問題，研究參數(shù)量值溯源方案，在相關(guān)企事業(yè)單位開展應(yīng)用示范，總結(jié)應(yīng)用經(jīng)驗，形成完善的量值溯源方法在產(chǎn)業(yè)中推廣應(yīng)用。課題成果得到與會專家的一致認(rèn)可與好評。
 

　　在下一步工作中，蘇州計量院將繼續(xù)總結(jié)項目經(jīng)驗，進(jìn)一步提高科研水平，完善納米幾何參量計量服務(wù)能力，積極推進(jìn)江蘇省納米材料及微納加工產(chǎn)業(yè)計量中心建設(shè)，助推江蘇省納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。
 

　　原標(biāo)題：我院承擔(dān)的NQI課題“納米幾何特征參量計量標(biāo)準(zhǔn)器在先進(jìn)制造產(chǎn)業(yè)應(yīng)用示范”通過績效評價驗收