【儀表網(wǎng) 儀表產(chǎn)業(yè)】近日，浙江省計(jì)量院戚海洋博士承擔(dān)的“基于聲表面波技術(shù)快速無損檢測低介電常數(shù)材料的機(jī)械特性的應(yīng)用基礎(chǔ)研究”獲批2021年度浙江省科技廳公益技術(shù)應(yīng)用研究項(xiàng)目。
低介電常數(shù)材料(low-k)在傳感器、納米技術(shù)和微電子等領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用，但其較差的機(jī)械特性制約了材料的應(yīng)用。目前，關(guān)于low-k材料機(jī)械特性的表征還存在表征結(jié)果不準(zhǔn)確，有損，測試時間長，測試設(shè)備昂貴、尺寸較大等問題。近日，省計(jì)量院戚海洋博士承擔(dān)的“基于聲表面波技術(shù)快速無損檢測低介電常數(shù)材料的機(jī)械特性的應(yīng)用基礎(chǔ)研究”獲批2021年度浙江省科技廳公益技術(shù)應(yīng)用研究項(xiàng)目。
“基于聲表面波技術(shù)快速無損檢測低介電常數(shù)材料的機(jī)械特性的應(yīng)用基礎(chǔ)研究”項(xiàng)目將基于超聲表面波技術(shù)，深入研究low-k材料機(jī)械特性的在線無損表征，擬解決low-k材料機(jī)械特性計(jì)量檢測中相應(yīng)的關(guān)鍵科學(xué)問題和技術(shù)難點(diǎn)。成果可服務(wù)于low-k材料研發(fā)和生產(chǎn)中的檢測需求，實(shí)現(xiàn)在線檢測，提高檢測準(zhǔn)確性，降低檢測造成的損失。課題契合我省打造“互聯(lián)網(wǎng)+”、生命健康、新材料三大科創(chuàng)高地思路，對我國集成電路行業(yè)和信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義。
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