《透射電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見(jiàn)

　　【儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】12月24日，全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)發(fā)布了《透射電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見(jiàn)，現(xiàn)面向相關(guān)單位和專家征求意見(jiàn)，意見(jiàn)反饋郵箱wangwn@nim.com.cn。
 

　　透射電子顯微鏡(簡(jiǎn)稱“透射電鏡”)是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到具有薄區(qū)的試樣上，電子束穿透試樣并與之作用，形成明暗不同的影像或衍射花樣，并在放大、聚焦后在成像器件上顯示出來(lái)。透射電鏡的分辨率極高，能夠同時(shí)獲得樣品的顯微形貌、尺寸、化學(xué)成分、晶體結(jié)構(gòu)等信息，在納米材料、生物醫(yī)藥、新能源等領(lǐng)域中被廣泛應(yīng)用。
 

　　由于磁透鏡和電子槍的電流隨時(shí)間的變化等因素使得透射電鏡的測(cè)量長(zhǎng)度值會(huì)產(chǎn)生誤差，有些值的誤差可達(dá)到10%，影響測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確性。因此，迫切需要建立透射電鏡的量傳體系，為納米技術(shù)領(lǐng)域的精準(zhǔn)測(cè)量提供技術(shù)保障。
 

　　本規(guī)范主要依據(jù)JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》進(jìn)行編制，JJF1001-2011《通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義》、JJF1059.1-2012《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》、JJF 1094-2002《測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定》共同構(gòu)成支撐校準(zhǔn)規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
 

　　本規(guī)范為制定，主要技術(shù)內(nèi)容和計(jì)量特性參考了JJG(教委)011-1996《透射電子顯微鏡檢定規(guī)程》和GB/T 34002-2017《微束分析　透射電子顯微術(shù)　用周期結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)校準(zhǔn)圖像放大倍率的方法》的部分內(nèi)容。
 

　　本規(guī)范按照J(rèn)JF 1071—2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》的要求制定透射電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范，在內(nèi)容和格式上與JJF 1071—2010保持一致。校準(zhǔn)規(guī)范的具體內(nèi)容有范圍、應(yīng)用文件、術(shù)語(yǔ)和定義、概述、計(jì)量特性、校準(zhǔn)條件、校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法、校準(zhǔn)結(jié)果的表達(dá)、復(fù)校時(shí)間間隔等。
 

　　本規(guī)范參考JJG(教委)011-1996《透射電子顯微鏡檢定規(guī)程》和GB/T 34002-2017《微束分析 透射電子顯微術(shù) 用周期結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)校準(zhǔn)圖像放大倍率的方法》，確定透射電子顯微鏡4項(xiàng)計(jì)量特性，分別為測(cè)長(zhǎng)示值誤差、測(cè)長(zhǎng)重復(fù)性、正交性誤差和漂移速率。針對(duì)每一校準(zhǔn)項(xiàng)目，規(guī)定了使用的標(biāo)準(zhǔn)樣品，明確了相應(yīng)的校準(zhǔn)操作。
 

　　本規(guī)范中的技術(shù)指標(biāo)和校準(zhǔn)方法均進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證；依據(jù)JJF 1059.1-2012《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》對(duì)儀器測(cè)長(zhǎng)示值誤差測(cè)量結(jié)果的不確定度進(jìn)行分析，進(jìn)一步驗(yàn)證了所采用的測(cè)量方法合理、可行。
 

　　本規(guī)范是針對(duì)透射電子顯微鏡校準(zhǔn)制定的計(jì)量技術(shù)規(guī)范。本規(guī)范適用于透射電子顯微鏡的校準(zhǔn)。(更多詳情請(qǐng)見(jiàn)附件)