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    摘要全國幾何量長度計量技術委員會已完成《球板校準規(guī)范》《回轉軸線測角轉臺校準規(guī)范》和《X射線熒光鍍層測厚儀校準規(guī)范》3項計量技術規(guī)范的征求意見稿。

      【儀表網 行業(yè)標準】根據(jù)國家市場監(jiān)督管理總局下達的國家計量技術規(guī)范制修訂計劃,全國幾何量長度計量技術委員會已完成《球板校準規(guī)范》《回轉軸線測角轉臺校準規(guī)范》和《X射線熒光鍍層測厚儀校準規(guī)范》3項計量技術規(guī)范的征求意見稿。為了使國家計量技術規(guī)范能廣泛適用和更具可操作性,特向全國有關單位及專家公開征求意見和建議。意見反饋郵箱:mtc2@nim. ac. cn,截止時間2023年11月10日前。
     
      《球板校準規(guī)范》
     
      球板是一種多尺寸標準器,由多個標準球鑲嵌在平板上構成。利用球形要素構成的各種尺寸,可用于坐標測量機的期間核查和誤差參數(shù)分析。光學三維掃描儀在工業(yè)制造領域應用日益廣泛,其示值誤差通常也采用球板進行評價。
     
      中國計量科學研究院建立的一維二維多尺寸標準器校準裝置([ 2012 ]國量標證字第254號),多年來開展步距規(guī)、球棒和球板的校準工作,為用戶開展溯源服務,其中步距規(guī)和球棒已發(fā)布了正式的校準規(guī)范,球板的校準依據(jù)仍是自編校準規(guī)范,有待立項完成。
     
      目前國內外還沒有球板相關的規(guī)程規(guī)范,通過本規(guī)范的制定,可以規(guī)范球板的計量特性,為用戶提供規(guī)范化的使用方法,促進先進制造業(yè)的發(fā)展。
     
      JJF 1001《通用計量術語及定義》、JJF 1059.1《測量不確定度評定與表示》、JJF 1071《國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則》共同構成支撐本校準規(guī)范制定工作的基礎性系列文件。
     
      依據(jù)JJF 1071《國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則》,本規(guī)范在組織架構上包括:范圍;引用文件;術語;計量特性;校準條件;校準項目和校準方法;校準結果的表達;復校周期以及附錄等內容。
     
      本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于具有規(guī)則陣列和特殊排列結構的球板標準器的首次校準、后續(xù)校準和使用中檢查。利用圓孔要素構成的標準器可參考本規(guī)范進行校準。
     
      《回轉軸線測角轉臺校準規(guī)范》
     
      回轉軸線測角轉臺是一種集成角度反射鏡的精密伺服定位轉臺。包括可360°旋轉的角度反射鏡、轉軸、主體及底座。回轉軸線測角轉臺工作時,測角轉臺底座與被測回轉軸線連接,轉軸帶動角度反射鏡旋轉某一固定角度,該角度作為與被測回轉軸線旋轉角度的比較基準參與完成被測回轉軸角位置誤差測量。角度反射鏡與激光干涉儀、角度干涉鏡配合使用,可以完成水平、豎直、傾斜、擺動等多種姿態(tài)回轉軸線的角位置誤差測量。
     
      JJF 1001-2011《通用計量術語及定義》、JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》、JJF1071-2010《國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1094-2002《測量儀器特性評定》共同構成支撐本校準規(guī)范制定工作的基礎性系列文件。
     
      依據(jù)JJF1071-2010《國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則》,本規(guī)范在組織架構上包括:范圍;引用文件;術語和定義;概述;計量特性;通用技術要求;校準條件;校準項目和校準方法;校準結果表達;復校時間間隔以及附錄等內容。
     
      本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范規(guī)定了回轉軸線測角轉臺的計量特性、校準條件、校準項目和校準方法等。本規(guī)范主要適用于配合激光干涉儀組合使用的回轉軸線測角轉臺的校準。
     
      《X射線熒光鍍層測厚儀校準規(guī)范》
     
      隨著我國半導體、電子、通信行業(yè)的快速發(fā)展,許多產品都提出了對鍍層厚度進行精確控制的要求,大部分電子制造加工企業(yè)均配備了鍍層分析測量設備。這種廣泛使用的鍍層厚度測量儀器一種基于X射線熒光分析技術的比較式測量儀器,為使其測量方法和量值傳遞統(tǒng)一,在2011年首次制定和實施了此類臺式儀器的國家校準規(guī)范:JJF1306-2011X射線熒光鍍層測厚儀校準規(guī)范。
     
      近十年來,半導體及微電子技術的快速發(fā)展,特別是我國高鐵、電力通訊的迅猛發(fā)展,為滿足現(xiàn)場測量需要,大力推動了手持式X射線熒光分析儀的產品研發(fā)和市場應用,相比臺式儀器,測量原理相同,主要優(yōu)點包括體積小、攜帶方便、使用簡單、性價比高,導致每年的市場銷售數(shù)量遠遠超過了臺式儀器。
     
      自JJF1306-2011校準規(guī)范發(fā)布實施以來,經過國內計量校準部門的實際應用和反饋,總體上,具有較好的實用性和可操作性,其量值傳遞和溯源技術方法是科學可行的,基本滿足國內此類儀器的量值溯源的需求,但也有需要完善和改進之處:原規(guī)范中規(guī)定的校準方法有一定局限性,鍍層標準塊的不確定度要求不太合理,同時鍍層厚度標準塊都只適合于臺式鍍層測量儀,不適用于當今應用普遍的手持式測量儀器。
     
      為使該規(guī)范更好的適應新技術、新產品的快速發(fā)展,需要對規(guī)范中相關內容進行增補和修訂,同時對原規(guī)范中不合理的部分內容進行完善和修訂,滿足工業(yè)生產制造及計量檢測機構對鍍層厚度測量儀器量值溯源和量值統(tǒng)一的需求。
     
      本規(guī)范在原有JJF1306-2011中X射線熒光鍍層測厚儀校準規(guī)范的基礎上,主體框架內容與格式不變,保留原來的計量特性要求,修改和增加內容包括:
     
      1. 行為格式規(guī)范化及描述完善性編輯修改;
     
      2. 適用范圍增加了手持便攜式儀器;
     
      3. 概述中增加了手持便攜式的外觀示意圖;
     
      4. 校準方法的完善:
     
      4.1測量重復性:考慮到測量范圍內不同區(qū)段的有較大變化,測量點由原來的1個增加至3個;
     
      4.2 示值穩(wěn)定性:保持不變;
     
      4.3示值誤差:基于能量色散方法的X射線熒光鍍層測厚儀,同一種鍍層厚度測量范圍內表現(xiàn)出非明顯線性誤差以及不同鍍層材料厚度測量誤差差異大,因此,示值誤差校準點由原來比較靈活的“1至5個”修改為“3個以上”,校準的鍍層材料由一種修改為至少3種。
     
      因是自動測量,為提高可靠性,單點測量次數(shù)由原來的3次改為10次。
     
      5. 規(guī)范了附錄C中厚度標準塊的技術特性描述及規(guī)定
     
      因厚度標準塊(片)精度是以測量不確定度大小來區(qū)分,因此取消級別劃分,修改為等別劃分;
     
      為更加合理表征厚度標準塊的不確定度,以0.1mm為分界點,按厚度范圍進一步區(qū)分測量不確定度大小。對應于示值誤差校準結果不確定度分析時,當厚度不超過0.1mm,擴展不確定度采用絕對值來表征,當厚度大于0.1mm,采用相對擴展不確定度來表示;
     
      6. 增加了附錄D,用于對手持編寫式儀器的標準塊技術特性描述和要求;
     
      7. 增加了手持式儀器的重復性和示值誤差實驗驗證數(shù)據(jù)。
     
      8.修改完善了附錄A不確定度分析。
     
      本規(guī)范適用于臺式和手持便攜式X射線熒光鍍層測厚儀的校準。

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