【儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】根據(jù)《江蘇省地方計(jì)量技術(shù)規(guī)范管理辦法》有關(guān)規(guī)定，江蘇省市場監(jiān)督管理局現(xiàn)對(duì)擬發(fā)布《光學(xué)顯微干涉式三維表面形貌測(cè)量儀校準(zhǔn)規(guī)范》江蘇省地方計(jì)量技術(shù)規(guī)范報(bào)批文本進(jìn)行公示，公示期為2022年12月13日至2023年1月12日。
光學(xué)顯微干涉式三維表面形貌測(cè)量儀是一種利用光學(xué)干涉原理對(duì)樣品表面三維形貌進(jìn)行精密測(cè)量的儀器，在樣品表面垂直方向上可以達(dá)到亞納米級(jí)的分辨力，廣泛應(yīng)用于材料、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。大多數(shù)情況下，測(cè)量儀使用白光作為光源，故也被稱作白光干涉儀。
本規(guī)范依據(jù)JJF 1071《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》編制，規(guī)范中的通用計(jì)量術(shù)語符合JJF 1001《通用計(jì)量術(shù)語及定義》，附錄中的測(cè)量不確定度示例依據(jù)JJF 1059.1-2012《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》評(píng)定。
本規(guī)范主要參考ISO 25178-603:2013 產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS) 表面結(jié)構(gòu) 區(qū)域法 第603部分 非接觸 (相移干涉顯微) 式儀器的標(biāo)稱特性(Geometrical product specifications (GPS)-Surface texture:Areal Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments) 、ISO 25178-604:2013 產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS) 表面結(jié)構(gòu) 區(qū)域法 第604部分 非接觸 (相干掃描干涉) 式儀器的標(biāo)稱特性(Geometrical Product Specifications (GPS) — Surface texture: Areal—Part 604 : Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments)等編制而成。
依據(jù)JJF 1071《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》，本規(guī)范在架構(gòu)上包括：范圍；引用文件；概述；計(jì)量特性；校準(zhǔn)條件；校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法；校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)；復(fù)校時(shí)間間隔以及附錄等內(nèi)容。
校準(zhǔn)環(huán)境條件：
儀器使用允許的環(huán)境條件，測(cè)量過程中應(yīng)測(cè)量和記錄環(huán)境的溫度、濕度。使用的標(biāo)準(zhǔn)器，應(yīng)在測(cè)量環(huán)境中穩(wěn)定不小于0.5h。實(shí)驗(yàn)室內(nèi)應(yīng)無影響校準(zhǔn)結(jié)果的振動(dòng)、電磁輻射等因素。
測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備：
校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)：
經(jīng)校準(zhǔn)的測(cè)量儀出具校準(zhǔn)證書，校準(zhǔn)證書內(nèi)容見附錄C。
復(fù)校時(shí)間間隔：
校準(zhǔn)時(shí)間間隔，根據(jù)儀器使用情況由用戶自行確定，建議為一年。
本規(guī)范為首次發(fā)布。本規(guī)范適用于光學(xué)顯微干涉式三維表面形貌測(cè)量儀的校準(zhǔn)。(更多詳情請(qǐng)見附件)
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