【儀表網(wǎng) 儀表下游】近日，上海市計(jì)測(cè)院微納米計(jì)量與儀器研發(fā)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)的“基于光學(xué)探針干涉的三維微接觸測(cè)量機(jī)理及技術(shù)研究”項(xiàng)目，經(jīng)申報(bào)獲2022年度國(guó)家自然科學(xué)基金青年科學(xué)基金項(xiàng)目資助。
國(guó)家自然科學(xué)基金青年科學(xué)基金項(xiàng)目堅(jiān)持支持基礎(chǔ)研究，注重培養(yǎng)青年科技人員獨(dú)立主持科研項(xiàng)目、進(jìn)行創(chuàng)新研究的能力，激勵(lì)青年科技人員的創(chuàng)新思維，培育基礎(chǔ)研究后繼人才。
項(xiàng)目擬提出一種基于光學(xué)探針干涉的三維微接觸測(cè)頭模型。利用探針干涉高靈敏度、高精度的傳感特性，尋求建立基于該方法的測(cè)頭傳感機(jī)理及位移傳遞機(jī)制；設(shè)計(jì)三軸測(cè)量力一致的懸掛結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)三軸分辨力、剛度各向同性的三維微接觸測(cè)頭開發(fā)。
我國(guó)裝備制造要由中低端向中高端邁進(jìn)，核心關(guān)鍵是解決超精密測(cè)量能力問題。項(xiàng)目研制成功后，將在測(cè)頭傳感機(jī)理和位移傳遞機(jī)制方面取得創(chuàng)新成果。突破微納測(cè)頭剛度、分辨力各向同性等關(guān)鍵技術(shù)難題；解決半導(dǎo)體、航空航天、精密制造中高深寬比、自由曲面、側(cè)壁及邊沿等復(fù)雜微結(jié)構(gòu)的測(cè)量和表征問題。將滿足微納制造中不斷縮小的特征尺寸與不斷提高的測(cè)量精度的趨勢(shì)要求，對(duì)推動(dòng)微納坐標(biāo)測(cè)量技術(shù)發(fā)展具有重要意義。
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