一.中圖儀器激光干涉儀顯著特點
1.測量精度高、速度快，穩定性好
①使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。
④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變
2. 應用范圍廣
①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析
③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析
3.軟件界面友好
①使用當前熱門的軟件界面開發工具，軟件界面人性化，操作簡單。
②將靜態測量和動態測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。
③向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶的使用習慣。
4 性價比高
性能達到了國外儀器的水準，價格是國內儀器的良心價。
二.中圖儀器激光干涉儀功能
SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、zui高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有*的精度和效率，而且及時處理數據，為機床誤差修正提供依據。
三.執行標準
ISO230-2 | 老版標準 |
ISO230-1997 | 新版標準 |
ANSI B5.54 | 美國國家標準 |
ASME B89.1.12M | 美國機械工程師協會標準 |
NMTBA | 美國機床協會標準 |
BS 3800 | 英國機床標準 |
BS 4656 | 英國三測機標準 |
JIS B6330 | 日本國家標準 |
GB 17421-2000 | 中國國家標準 |
VDI 3441 | 德國機床標準 |
四.中圖激光干涉儀技術參數
測量方式：單頻
穩頻精度：0.05ppm
動態采集頻率：50 kHz
預熱時間：5-10分鐘
工作溫度范圍：0~40℃
環境溫度范圍：0~40℃
存儲溫度范圍：-20℃~70℃
空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)
測量距離：0-40m
測量精度：0.5ppm (0-40℃)
測量分辨率：1nm
測量zui大速度：4m/sec
