一、設備簡介
感應區(qū)熔及晶體生長裝置主要包含兩種功能，一種用于材料的熔化提純，一種用于材料的定向凝固。
二、主要技術參數(shù)：
1、工作溫度：1500℃，常用溫度：1400℃
2、線圈升降行程：150毫米，采用步進電機驅動，升降速度可調節(jié) 速度范圍0.1-600mm/min
3、坩堝升降行程：150毫米，采用步進電機驅動，升降速度可調節(jié) 速度范圍0.1-600mm/min
4、石墨坩堝尺寸：φ40*60㎜
5、感應電源振蕩功率：15KVA，電源電壓380V
6、采用熱電偶控溫，0~1600℃
7、可抽真空與充保護氣氛，保護氣氛壓力≤0.02Mpa
8、真空系統(tǒng)：用戶自備
三、結構簡介
感應區(qū)熔及晶體生長裝置主要由感應加熱裝置，坩堝及保溫裝置、密封石英管裝置、區(qū)熔裝置、定向凝固裝置、真空裝置、保護氣氛裝置、測溫裝置、支架及操作臺裝置、可視化控制系統(tǒng)與冷卻系統(tǒng)組成。
1、感應加熱裝置：由一臺振蕩功率15kVA，振蕩頻率30-80kHZ的高頻電源***感應加熱
2、坩堝及保溫裝置：由一只石墨坩堝，一種石英陶瓷保溫套、保溫底座和保溫蓋組成，保證傳輸?shù)绞⒐艿臏囟鹊陀?000℃；保溫蓋開有觀察孔，可觀察到溶液狀態(tài)。
3、密封石英管裝置：由一根石英管，兩套密封法蘭組成，采用硅膠密封圈密封，局部帶水冷，密封法蘭上帶各種接口，方便其他裝置接入。
4、區(qū)熔裝置：由步進電機、減速機、線性模組和連接塊組成，帶動線圈沿著石英管上下**，速度可調節(jié)，實現(xiàn)區(qū)熔目的。
5、定向凝固裝置：從石英管底部密封法蘭處引入，帶動密封結構，留有熱偶接口，由步進電機、減速機、線性模組和連接塊帶動坩堝實現(xiàn)上下升降目的，實現(xiàn)定向凝固功能。
6、保護氣氛裝置：石英管底部密封法蘭留有充氣接口，帶閥門和進氣接口，石英管頂部密封法蘭留有出氣接口與閥門，并裝有安全閥，防止氣壓過高損壞元件
7、測溫裝置：從定向凝固**管中接入，可直接跟石墨坩堝接觸，測量石墨坩堝溫度，并能根據(jù)設定溫度自動調節(jié)高頻電源的輸出功率。
8、支架及操作臺裝置：采用型材與板材拼接而成，人性化設計，操作方便，占地空間小。
9、可視化控制系統(tǒng)：采用PLC+觸摸屏控制整套系統(tǒng)，實現(xiàn)可視化操作，操作直觀方便。還可實時記錄各種實驗數(shù)據(jù)并下載到PC端，方便用戶調整工藝數(shù)據(jù)。
10、冷卻系統(tǒng)：由2P冷水機、兩套閥門、分流器與管路組成，滿足供水要求。
