一·設(shè)備用途：
主要用于LED行業(yè)的藍(lán)寶石晶體制備。
二·設(shè)備特點：
本設(shè)備采用分體模塊化設(shè)計，立式底出料結(jié)構(gòu)，爐體，真空系統(tǒng)，電控系統(tǒng)分別模塊化式設(shè)計，現(xiàn)場三大模塊按照平面布置圖拼接組合起來，不用每樣都分別拆分組裝，安裝方便快捷，***整潔大方。
三·主要技術(shù)參數(shù)
1.**加熱溫度： 1800℃
2.功率： 80Kw±10%單相整流
2.冷態(tài)極限真空度： ≤5×10E-**a
3.壓升率： ≤2Pa/h
4.爐體尺寸： Ф750×1065mm（直徑×高）
5·工作尺寸： Ф320×300
6.測溫系統(tǒng)： 熱電偶
7.控溫精度： ±0.1℃，采用歐陸溫控儀表
8.加熱區(qū)： 一區(qū)
9.坩堝升降參數(shù)： 位移行程 400mm
慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm
快速升降50-200mm/min（伺服控制）
10.底出料參數(shù)： 位移行程 850mm
升降速度100-1000mm/min
11·爐內(nèi)充氣壓力： ≤0.05MPa
12·充放氣系統(tǒng)： 兩路（一路采用電磁閥充放氣，一路預(yù)留充放氣接口）
傳
