| 規(guī)格 | 技術(shù)指標(biāo) |
| 襯底類型 | 透明或半透明襯底 |
| 光源 | 氙燈 |
| 光源壽命 | >8760H |
| 光譜范圍 | 300-1000nm |
| 入射角 | 70度（40度-90度 每5度可調(diào)） |
| 光斑直徑 | 100x120μm(Min80x100um) |
| 測量時(shí)間（不對焦） | <2S(單層模型),<約6s（多層模型） |
| 膜厚測量范圍（單層膜） | 1nm-15μm |
| 對焦 | 自動(dòng)訊號對焦 |
| 膜厚測量精度 | <0.5nm(基于標(biāo)片) |
| 折射率測量精度 | <0.005(基于標(biāo)片) |
| 厚度重復(fù)性精度： | <0.5A（1 sigma 標(biāo)準(zhǔn)差,10times）（基于標(biāo)準(zhǔn)片） |
| 折射率重復(fù)性精度： | <0.0005（1 sigma標(biāo)準(zhǔn)差,10times）（基于標(biāo)準(zhǔn)片） |
| 可測試膜層數(shù)量 | ≥2層 |
| 標(biāo)片數(shù)量 | 2片 |
