HORIBA光譜橢偏儀UVISEL 2原理介紹

產品介紹：
HORIBA Scientific發明了新一代科學光譜橢偏儀，可為納米和微米層表征提供高水平的性能。UVISEL 2包括廣泛的集成自動化功能，可用于調查所有材料系列。UVISEL 2具有樣品視覺，并配有自動點選擇功能，可準確定位樣品上的測量點和區域。
UVISEL 2集成了35μm消色差點，能夠覆蓋從FUV到NIR的大光譜范圍，用于測量非常小的樣品區域。在DeltaPsi2軟件的驅動下，UVISEL 2操作簡單，具有表征所有現有材料以及下一代材料和結構的性能。HORIBA Scientific開始使用經過驗證的準確，靈敏的橢偏儀，UVISEL，并重新設計和改進了所有產品，以提供比任何其他儀器更高規格的儀器。
參數：
掃描光譜相位調制橢圓偏振儀：190-880nm
視覺系統：使用橢圓儀頭提供樣品的實時彩色圖像和準確的測量點
計算機控制的微點：
可選擇8種不同的光斑尺寸，以適應樣品的特征尺寸
消色差微光學鏡片，min.35μm
計算機控制的可變角度測角儀：
角度范圍35°- 90°
允許可變角度光譜橢圓測量法
電腦控制的200mm x 200mm XYZ： 
用于自動化樣本映射
200mm方形樣品架，附有2個參考樣品
自動Z高度調節：40mm自動對焦
電動樣品傾斜校準：通過激光系統對準樣品
用于紫外 - 可見范圍的雙單色器系統：
190nm - 880nm（雜散光抑制<在190nm處0.5％）
雙PMT探測器具有高的靈敏度和動態范圍
氙氣光源：150 W
近紅外擴展：至2100 nm
NIR系列的單色器：
880nm - 2100nm
InGaAs探測器
計算機和Delta Psi2軟件包：
采集，校準和數據解釋
自動校準