ADEPT 1010 ADEPT 1010 動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀

參考價(jià): 面議

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型號(hào)ADEPT1010
品牌
所在地上海
更新時(shí)間2024-01-21

上海德竹芯源科技有限公司

廠商性質(zhì)其他
所在地區(qū)上海
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量167
人氣值1529

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上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、封裝設(shè)備、測(cè)試設(shè)備。目前公司已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)、封裝、測(cè)試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)博士，擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。

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動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀（D-SIMS）是使用一次離子束（通常是Cs源）轟擊樣品表面，而產(chǎn)生二次離子，然后用質(zhì)譜分析儀分析二次離子的質(zhì)荷比（m/q），從而得知元素在樣品中的深度分布，是分析半導(dǎo)體摻雜和離子注入的有力的工具。

ADEPT 1010 動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀產(chǎn)品詳情

優(yōu)勢(shì)

● ULVAC-PHI 新設(shè)計(jì)的四極桿-二次離子質(zhì)譜儀 ADEPT 1010，在原有的 PHI 6300 和 PHI 6600 的基礎(chǔ)上，改善了離子光學(xué)系統(tǒng)，是在一次離子能量低至 250eV 時(shí)，仍保持有效的濺射束流的動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜系統(tǒng)（D-SIMS）。

特點(diǎn)

● 大束流低能量離子槍設(shè)計(jì)，提高了深度分辨率

● 高性能離子光學(xué)系統(tǒng)，改善了二次離子傳輸效率，在提高分析效率的同時(shí)又提高了檢測(cè)靈敏度

● 高精度全自動(dòng) 5 軸樣品操控臺(tái)

● 不同方向進(jìn)入檢測(cè)器的二次離子，均可被高靈敏地收集檢測(cè)

應(yīng)用實(shí)例分析

● 采用一次離子源 Cs 在加速 5kV 束流為 100nA 的條件下，分析 GaAs 中注入的 H，C，O 元素。可以看到 H 檢測(cè)限值 7.1 × 10¹⁶atm/cm³，O 檢測(cè)限值 4.4 × 10¹⁵atm/cm³，C 檢測(cè)限值 2.0 × 10¹⁵atm/cm³。

關(guān)鍵詞：二次離子質(zhì)譜

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