Smart SE, 智能型多功能橢偏儀
Smart SE 是一款通用型薄膜測(cè)量工具。測(cè)試速度快，準(zhǔn)確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)（n, k）以及薄膜結(jié)構(gòu)特性（如粗糙度、光學(xué)梯度及各向異性等）。
Smart SE利用 DeltaPsi2 軟件平臺(tái)在幾分鐘內(nèi)對(duì)450-1000nm的光譜數(shù)據(jù)進(jìn)行采集、建模
分析。自動(dòng)化雙軟件操作平臺(tái)，從簡(jiǎn)化的工作流程到研發(fā)，滿足不同層次和需求的客戶。
Smart SE是一款性價(jià)比的薄膜研發(fā)工具，以經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的價(jià)格提供了研究級(jí)的性能。標(biāo)配一套完整樣品可視化系統(tǒng)，準(zhǔn)確定位分析位置及區(qū)域，7個(gè)不同尺寸的微光斑可用于微區(qū)特征分析。幾秒鐘即可獲得完整的16位穆勒矩陣，用于復(fù)雜樣本的研究。
Smart SE配置靈活、具備多角度測(cè)量能力，可方便實(shí)現(xiàn)在線與離線配置切換。是一款針對(duì)單層和多層薄膜進(jìn)行簡(jiǎn)單、快速、準(zhǔn)確表征和分析的工具, 可用于在線原為測(cè)試。Smart Se可以滿足各類應(yīng)用領(lǐng)域，包括微電子，光伏，顯示，光學(xué)涂料，表面處理和有機(jī)化合物等。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
●快速、準(zhǔn)確
●易于升級(jí)
●光斑可視化
可選附件
●全自動(dòng)量角器，入射角度從450 到900可調(diào)，步徑0.010
●全自動(dòng)樣品臺(tái)：直徑200mm和300mm可選
●可通過法蘭耦合在反應(yīng)腔實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)測(cè)
●冷熱臺(tái)
●液體樣品池和電化學(xué)反應(yīng)池
●十字星自準(zhǔn)直系統(tǒng)
