電子探針顯微分析儀EPMA-8050G
電子探針顯微分析原理及其發展的初期是建立在X射線光譜分析和電子顯微鏡這兩種技術基礎上的,該儀器實質上就是這兩種儀器的科學組合。電子探針是運用電子所形成的探測針(細電子束)作為X射線的激發源來進行顯微X射線光譜分析的儀器。分析對象是固體物質表面細小顆粒或微小區域,范圍直徑為1μm。電子探針可測量的化學成分的元素范圍一般從原子序數12(Mg)至92(U),原子序數大于22的元素可在空氣通路的X射線光譜儀上進行測量。電子探針的靈敏度低于X射線熒光光譜儀,原因是電子探針X射線的本底值高于后者,但電子探針的感量比其他儀器都高。此外,后期生產的儀器,可作X射線背散射照相、透視照相。能兼作透射電鏡、能進行電子衍射、能作電子熒光觀察等。
從SEN哩病條件到1aA是后。在各種束流睪作下都擁有卓雌空問分臆豐的實題哂發射電子光學系接。
主要應用領域:地質礦產、鋼鐵有色-催化到、半導體、生物材料。