PC1000-5030 日本YAMATO等離子清洗機(jī)PC1000-5030

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型號(hào)PC1000-5030
品牌
所在地
更新時(shí)間2021-09-28

安捷來(lái)國(guó)際股份（香港）有限公司

廠(chǎng)商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
所在地區(qū)
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量1258
人氣值6938

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日本YAMATO等離子清洗機(jī)PC1000-5030

日本YAMATO等離子清洗機(jī)PC1000-5030 產(chǎn)品詳情

日本YAMATO等離子清洗機(jī)PC1000-5030

PC1000-5030

RIE / DP modeselectable

Specifications

Model	PC1000-5030
Plasmamethod	RIE ? DP
Electrode	Parallelflatstageplate
RFgenerator	100~1000W
Oscillationfrequency	13.56MHz
Controlsystem	LCDTouchpanelwith PLC
Chambersize	(W)600×(D)370×(H)145mm
Stage size	(W)500×(D)300mm
Chambermaterial	Aluminum
Reactiongas	O2,Ar,CF4,C5F8,SF6 or others
Purge gas	N2orDryair
Flow meter	Mass flowcontrol2line
Vacuumpump	700L/min
Gas system	2line(Reactiongas) , 1 line (Purge gas)
Externaldimension	(W)900×(D)950×(H)1,530mm
Powersupply	AC200/220/380V3phase 25A

關(guān)鍵詞：清洗機(jī)

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