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安捷來的經營理念：高品質創造高價值，用高品質的產品和服務為客戶創造*大的科研及商業價值。安捷來勒一貫以“科技保證質量，服務完善產品”為宗旨，以廣泛深厚的國際關系、強大的營銷和售后服務力量、雄厚的技術實力，為優異科研領域提供歐美、日本等高性能的，在世界范圍內采取*新技術生產的10,000余種科研儀器設備及理想的研究、生產技術環境，其產品廣泛應用于電子、半導體、醫藥、化工、化妝品、涂料、石油、食品等行業及高校、檢驗檢疫局、商檢、藥檢、軍科院、中科院等科研機構。經過10年的經驗積累，安捷來勒能夠為客戶提供IT、半導體、醫藥、化工、食品等行業產品檢測及品質管理的整體實驗室解決方案和專業化服務。

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日本YAMATO等離子清洗機PR1000

日本YAMATO等離子清洗機PR1000 產品詳情

日本YAMATO等離子清洗機PR1000:

Plasma Cleaner

PR1000

Plasma Mode

DP:DirectPlasma

Radio-FrequencyOutput

10to1000W

Oscillating Frequency

13.56MHz

ChamberSize(mm)

?300X500D

Barreledtypelargeglass chamber

EquipmentSummary
ThisPlasma cleaner is made up composed ofasfollows;

Reaction chamber
Matching box fortakingadjustbetween
load and RF power
Reaction gasflowsystem(CF4 and O2)
PLC controllerwithTouchpanel
Radio-frequencypowersupply(RF)
Vacuum pump
Purge gas system (N2)

Specifications

Model	PR-1000
MainUnit
Chambersize	?300×500(D)mm
Chambermethod	Quartzglass
Electrode	Condenser(4division)
Plasmamode	DP mode
Vacuumgauge	Capacitancemanometer T
Reactiongas system	wosystem(CF4, O2)
Maincontroller	PLCcontroller
Display	LCDcolordisplayａnd Touch panel (5.7 inch)
Door	Manualopen,swingtype
ExternalDimension	700(W)×820(D)×1600(H)mm
Radio-FrequencyPower Supply
Inputvoltage	AC200V8A50/60Hz
Radio-frequency output power	10 to1000W
Referenceoscillator	Quartzoscillator
Oscillating frequency	13.56MHz
Outputsetting system	Digitalsetting
Matchingadjustment	Automatictuning
VacuumPump
Displacement	670L/min.
Inputpower supply	3 phaseAC200V11A50/60Hz
InletConfiguration	NW40
OutletConfiguration	NW40
GasSystem
Purgegas	N2
Reactiongas control	Massflowcontroller CF4 (F.S.300sccm) O2 (F.S.300sccm)
System Protectionof Equipment
Protect over current,Builtinprotect over current of Vacuum pump, RF power supplyandmainunit Protect quartzoscillator,Whenmatching unit have miss matching, Automatic RF powerdownandprotect quartz oscillator Door panel inter lock, Builtininterlock switch External coversafetylockswitch Emergency stop switch
SystemProtections by Software in PLC
When occurredfollowingconditions,Equipment stop and Error will display. In case of RF power is outofsettingvalue. In case of gas flow (CF4, O2) is out of setting flow rate. In case of RFW powerisoverpermission value. In case of Vacuum pressuredoesnotreach within setting time. After finish plasmaprocess,chamberdoes not become atmosphere.
Utility
Electricpower supply	3 phaseAC380V20A50/60Hz (Total system) with down transformer
CF4 gas	0.15to0.25Mpa
O2 gas	0.15to0.25Mpa
PressureAir	0.4 to0.6Mpafordriving air valve
Connectingsize	1/4swagelok

關鍵詞：清洗機

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