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    • 美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 140 等離子清洗器

    美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 140 等離子清洗器

    參考價(jià)訂貨量

    10

    ≥1臺(tái)

    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
    • 型號(hào)
    • 品牌其他品牌
    • 所在地上海
    • 更新時(shí)間2022-10-17
    • 廠商性質(zhì)代理商
    • 所在地區(qū)上海
    • 產(chǎn)品數(shù)量92
    • 人氣值2036
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    位于中國(guó)上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)(上海)有限公司創(chuàng)建于1995年12月,是日本伯東株式會(huì)社獨(dú)資設(shè)立的外商投資企業(yè),公司注冊(cè)資金為800萬(wàn)美元。

    本公司主要是一家以經(jīng)營(yíng)電子接插件、線束、電線以及機(jī)械設(shè)備、中空產(chǎn)品等精密儀器、設(shè)備的維修,以及以半導(dǎo)體制造裝置、基板制造裝置、電腦軟件為主的貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易及保稅區(qū)企業(yè)間貿(mào)易及保稅區(qū)貿(mào)易代理、貿(mào)易及相關(guān)技術(shù)咨詢的公司。

    公司一直堅(jiān)持品質(zhì)*、信譽(yù)*的原則,為廣大客戶提供了高品質(zhì)的產(chǎn)品以及良好的售后服務(wù)。到目前為止已先后通過了美國(guó)UL安全認(rèn)證、 ISO9001-2000質(zhì)量體系認(rèn)證、ISO14001-1996環(huán)境體系認(rèn)證。公司將在今后的發(fā)展中秉承以人為本,不斷開拓進(jìn)取的精神,為滿足客戶的需求努力向?qū)I(yè)化、優(yōu)質(zhì)化、集團(tuán)化發(fā)展。

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    產(chǎn)地進(jìn)口 加工定制
    上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 140 是一款緊湊的有柵極離子源, 離子束可聚焦, 平行, 散射.
    離子束流: &gt;600 mA; 離子動(dòng)能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.
    采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng), 更適合時(shí)間長(zhǎng)的工藝要求. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求.
    美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 140 等離子清洗器 產(chǎn)品詳情

    上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 140 是一款緊湊的有柵極離子源, 離子束可聚焦, 平行, 散射.

    離子束流: >600 mA; 離子動(dòng)能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000. 

    采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng), 更適合時(shí)間長(zhǎng)的工藝要求. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求.

    離子源采用模塊化設(shè)計(jì), 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝.

    非常適用于離子束濺射沉積, 離子輔助沉積和離子束刻蝕工藝.

     

    伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 140 技術(shù)參數(shù):

    型號(hào)

    RFICP 140

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >600 mA

    離子動(dòng)能

    100-1200 V

    柵極直徑

    14 cm Φ

    離子束

    聚焦, 平行, 散射

    流量

    5-30 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長(zhǎng)度

    24.6 cm

    直徑

    24.6 cm

    中和器

    LFN 2000

     

    伯東KRI 考夫曼離子源 RFICP 140 應(yīng)用領(lǐng)域:

    1.預(yù)清洗

    2.表面改性

    3.輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜)IBAD,

    4.濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC

    5.離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD

    6.離子蝕刻 IBE

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