5D/6D激光干涉儀技術參數及特點
2020-11-25標簽：激光干涉儀
激光干涉儀技術參數：
5D/6D標準型：
1.線性：0.5ppm
2.測量范圍：40米（1D可選80米）
3.偏擺角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%顯示較大值4.zei大范圍：400角秒5.滾動角精度：0.5角秒6.直線度精度：（0.5+0.1/m）um或1%顯示較大值7.zei大范圍：300um8.垂直度精度：0.5角秒9.溫度：0.1攝氏度10.濕度：3%11.壓力：0.3mmHg5D/6D高精密型：1.線性：0.2ppm2.測量范圍：根據用戶要求而定3.偏擺角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒
4.zei大范圍：500角秒5.滾動角精度：0.5角秒6.直線度精度：（0.2+0.05/m）um7.zei大范圍：100um8.垂直度精度：0.5角秒9.溫度：0.1攝氏度10.濕度：3%11.壓力：0.3mmHg
激光干涉儀主要特點：
1.同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角
2.設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
3.可選的無線遙控傳感器zei長的控制距離可到25米
4.可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性。
5.全套系統重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架6.集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間
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