單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀的對比
2020-11-14標(biāo)簽:激光干涉,單頻激光干涉儀,雙頻激光干涉儀
激光的發(fā)明和應(yīng)用使干涉測量技術(shù)提高了精度,擴大了量程,擴展了適用范圍。為了進一步使干涉儀投入到生產(chǎn)生活中,成為生產(chǎn)過程中質(zhì)量控制設(shè)備,激光外差干涉儀,具體來說就是雙頻激光干涉儀應(yīng)運而生。
單頻激光干涉儀有一個根本弱點就是受環(huán)境影響嚴重,在測試環(huán)境惡劣、測量距離較長時,這一缺點十分突出。因為單頻激光干涉儀的測量系統(tǒng)是一種直流系統(tǒng),必然具有直流光平和電平零點漂移的弊端。在外界環(huán)境的干擾下,由于速度的影響,干涉條紋的平均亮度會發(fā)生較大變化,從而造成計數(shù)錯誤。這限制了單頻干涉儀的應(yīng)用范圍。
雙頻激光干涉儀正好克服這一弱點,它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀,使用的干涉信號是一個頻率為幾兆赫的交流信號,當(dāng)可動反射鏡移動時,干涉信號根據(jù)多普勒效應(yīng)原理,原有的交流信號頻率增加或減少了A/,結(jié)果依然是一個交流信號。這樣,即使光強大幅度衰減,G可得到合適的電信號。這一特點使它可以棄普通車間進行應(yīng)用,具有更強的環(huán)境適應(yīng)能力,同時可進行動態(tài)高速測量,配以相應(yīng)元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。
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SJ6000精密激光干涉儀器利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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SJ6000機床導(dǎo)軌激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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SJ6000機床激光干涉精密測量系統(tǒng)集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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SJ6000高精度激光干涉儀測量設(shè)備具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,廣泛應(yīng)用于機床、三坐標(biāo)、機器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域。
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sj6000機床激光干涉測量校準(zhǔn)系統(tǒng)具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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0.05ppm機床激光干涉儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點,在機床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。它集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
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SJ6000機床激光干涉測量校準(zhǔn)儀具有高測量精度和重復(fù)性,可以實現(xiàn)非接觸式測量方式,不會對被測量物體造成損傷。它結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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SJ6000激光干涉儀測量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。
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SJ6000激光干涉位移測量儀在動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。