質(zhì)量流量控制器的原理和結(jié)構(gòu)

    質(zhì)量流量控制器工作原理和結(jié)構(gòu)：

 

    質(zhì)量流量控制器傳感器采用微機(jī)械加工技術(shù)，質(zhì)量流量控制器實現(xiàn)微小流量測量，其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償，廣泛應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。

 

    流量控制器工作原理：

 

    質(zhì)量流量計采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度和壓力補(bǔ)償)，將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量測量電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥，通過閉環(huán)控制來控制通過的流量，并使之與設(shè)定的流量相等，分流器決定主通道的流量，圖為MFC和流量顯示儀連接后的工作原理圖：

 

    控制器輸出的流量檢測到的電壓與流過通道的氣體質(zhì)量成正比，滿量程檢測輸出電壓為5VDC，氣體質(zhì)量流量控制器的檢測范圍為2~100%滿刻度(量程比為50：1)，流量分辨率為0.1%滿刻度。注意：氣體質(zhì)量流量控制器的“閥控“線置于“清洗“位時也可以當(dāng)成氣體質(zhì)量流量計使用，這時，流量檢測輸出電壓的輸出值可能達(dá)到10VDC以上。需要注意的是，一旦輸出電壓超過5VDC，流量檢測電壓和實際通過的流量不成線性對應(yīng)關(guān)系。清洗時，流量顯示是不準(zhǔn)確的，而且還可能出現(xiàn)流量增大、顯示減小的現(xiàn)象，但這些不會損壞質(zhì)量流量控制器。

 

    質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器結(jié)構(gòu)：

 

    質(zhì)量流量計含流量傳感器、分流器通道和流量放大、線性化及溫度補(bǔ)償電路組成。增加電磁閥和PID控制電路就構(gòu)成了流量控制器。

 

    產(chǎn)品特點(diǎn)：

 

    ·產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門

 

    ·微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù)，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升

 

    ·微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化

 

    ·單個芯片的**流量特性的微處理技術(shù)，使流量計的量程范圍大大提高

 

    ·機(jī)電一體化優(yōu)化設(shè)計，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計具有更好的重復(fù)性，實現(xiàn)了計量的準(zhǔn)確、可靠

 

    ·結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，流量計的壓力損失達(dá)到*小化

 

    ·采用國際*新的傳感技術(shù)，使流量計工作更穩(wěn)定、可靠

 

    ·開創(chuàng)零點(diǎn)自校功能，測量更準(zhǔn)確

 

    ·多種氣體實際標(biāo)定，全量程補(bǔ)償

 

    ·快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動存儲，配合上位機(jī)可實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理

 

    ·規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨(dú)標(biāo)定

 

    ·精度等級高，滿足用戶高精度測量要求

 

    ·獨(dú)有的流量計報警功能，使監(jiān)控更可靠

 

    ·操作、設(shè)置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)

 

    ·運(yùn)用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的優(yōu)選

 

    流量控制器技術(shù)參數(shù)：

 

    ·測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

 

    ·測量管徑：DN3，4，6，8，10

 

    ·流量范圍：30，60，80，100，300，600，800，1000sccm；10，20，30，50，80，100SLPM

 

    ·流量測量準(zhǔn)確度：±1.5%FS；±2.5%FS

 

    ·工作溫度范圍：-25℃-55℃

 

    ·工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

 

    ·供電電源：24VDC±10%

 

    ·輸出信號：4-20mA，RS485通訊

 

    ·環(huán)境溫度：-25℃-55℃

 

    ·顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位