牛津X熒光測厚儀CMI900、920操作指導

牛津X-Strata920測厚儀器操作培訓內容

一、開  機

打開電腦、顯示器，打印機電源后再打開測試主機

二、進入程式

    待電腦啟動完成后會自動彈出SmartLink FP程序的密碼輸入提示對話框，（當退出程式需重新登錄時，需在windows桌面雙擊SmartLink FP圖標亦會出現同樣的對話框），此時輸入合適密碼。

三、升  壓

    待機器完成初始化（即Z軸走臺上下移動一周，直至走臺聲音停止），圖像下方的灰色GO鍵轉換成綠色時表示升壓工作完成（電壓升至45.0KV，電流升至0.8mA測量電流，然后自動降為0.2mA待機電流）。

四、熱  機

關機超過3個小時后開機必做。點擊“計數”，將波譜校準片“Spect  cal”放入儀器，將Ag點移至十字線中間，鐳射聚焦，設定測量時間為6秒,重復測量次數為30~50次, 點擊綠色Go鍵，等待自動連續測量完成。

五、波譜校準

不關機狀態下每日必做或每次關機3小時以上再次重開機必做，目的在于讓儀器進行自我補償調整。

首先點擊任務欄中的“波譜校準”圖標，然后將波譜校準片“Spect  cal”放入儀器，將Cu-Ag合金點移至十字線中間，鐳射聚焦，測量（點擊Go鍵）。

待儀器自動完成每一步，紅色STOP鍵會轉變成綠色GO鍵后，將純Ag點移至十字線中間，鐳射聚焦，測量（點擊Go鍵），完成后出現“波譜校準成功！”字樣的對話框時，點擊“確定”即可。

若不成功，檢查是否做錯，或中途是否停止過，或有無移動過波譜片，此時需要重新完整再做一次波譜校準。

六、測  量

回到測量界面，點擊上方“測量123”，依據不同的測試樣品選擇影像下方的“應用檔案(App)”，點擊右方的黃色文件夾（即打開檔案夾），選擇對應鍍層的合適檔案，開啟檔案，放入待測試樣品，將樣品測試點移至十字線中間，鐳射聚焦，點擊GO鍵開始測量，測量完成后可在右上方的顯示框中直接看到結果。

七、打  印

    點擊上方任務欄的“統計”下拉菜單中的“列印”選項，選擇列印“所有的”或“單一數據”，離開后點擊“確定”打印即可。

八、關  機

    先拿出樣品臺中的樣品，然后退出SmartLink FP程序（即點擊右上角“退出”或  ，回答“確定”,待降壓后自動退出），然后關閉顯示器，主機，打印機等。全部操作完成。    

新建校準檔案指引

一、進入校準模式

點擊任務欄中的“FP校準”圖標。

二、創建新檔案

下面以Au/Ni/Cu為例：

在校準模式下點擊任務欄中左上方的新建“”圖標，此時出現元素周期表。

     選定元素：

     a：點擊元素周期表中的“Au”，按住鼠標左鍵不放拖“Au”至右上方元素欄中的上層。

     b：點擊“Ni”拖至第二層。

     c：點擊“Cu”拖至第三層。

     d：點擊下方“離開”，此時右下方出現參數功能選擇區。

設定參數：

     a: 點擊“參數”，修改“測量時間( 例如60或90 秒 )”，“厚度單位( 例如微英寸 )”，“準確度( 例如2 位小數點位數 )”等。

     b: 點擊“標準片”，輸入Au薄片的厚度( 例如Au 4.0 UIN )和Ni薄片的厚度 ( 例如Ni 150.0UIN ), 此時注意輸入的數值一定要對應a項中的單位，不可混淆。

測量標準片:

      a: 點擊右上方的“Au* ”，放入Au*標準片，調焦，測量。

      b: 點擊右上方的“NI* ”，放入Ni*標準片，調焦，測量。

      c: 點擊右上方的“CU* ”，放入Cu*標準片,  調焦，測量。

      d: 點擊“Au4.00/150.00/Cu inf( 例子 )，按要求先將Au( 4.0UIN ) 和Ni( 150.0UIN ) 疊加在一起，AU( 4.0UIN )在上方，Ni( 150.0UIN )在下方，然后放在 Cu* 標準片上，對齊位置，放入模具，輕輕放進樣品臺，鐳射聚焦，測量。

     存檔

      點擊任務欄中的“保存”圖標，以合適文件名命名存檔。

三、轉換應用檔案指引

（一般建立新檔案后需要進行此步驟，更新舊檔案則不需要）

a、進入設立程式

       點擊任務欄右上方的的應用圖標“應用”，進入設立應用檔案模式。

b、選校準檔案

       點擊下方“選擇校準檔案”，出現全部校準檔案文件，選定要設立的檔案。

c、設定參數

點擊“參數”，修改“測量時間( 例如15 S )”，“厚度單位( 例如微英寸 )”，“準確度( 例如2 位小數點位數 )”。

d、固定格式打印報告的關聯

點擊“打印”，若有編輯打印報告，可點擊“選擇報告”，選定合適的固定格式報告 。

e、存檔

點擊“保存”，輸入合適文件名存檔。

f、操作完成，可測量樣品。

點擊任務欄中上方的 “測量123” 圖標，進入測量模式，然后選擇影像下方的“應用”，即可放入樣品測試。

更新校準檔案指引

一、什么時候需要更新校準檔案？

以Au(4.0)/Ni(150.0)/Cu檔案為例，假如我們在影像下方的“應用”檔案里面調出Au/Ni/Cu檔案測量樣品結果感覺與理想值厚度出入較大時，我們可以從影像下方的“校準”檔案里面調出Au/Ni/Cu檔案，然后按將Au( 4.0UIN ) 和Ni( 150.0UIN ) 疊加在一起，AU( 4.0UIN )在上方，Ni( 150.0UIN )在下方，然后放在 Cu* 標準片上，對齊位置，放入模具，輕輕放進樣品臺，鐳射聚焦，測量。看測量結果與標準品實際結果偏差是否在允許誤差范圍內，若在誤差允許范圍內，則證明檔案正確。若不在誤差允許范圍內，則需要更新該校準檔案。

二、如何更新校準檔案

點擊上方任務欄中的“FP校準”圖標，點擊任務欄中“打開”圖標

此時出現“FP校準”檔案全部文件。

選則檔案：

       a: 點擊需要更新的檔案名。

       b: 點擊“打開”。

    測量：（以Au/ Ni/Cu為例）

       a: 點擊右上方的“Au* ”，放入Au*標準片，調焦，測量。

       b: 點擊右上方的“NI* ”，放入Ni*標準片，調焦，測量。

       c: 點擊右上方的“CU* ”，放入Cu*標準片,  調焦，測量。

       d: 點擊“Au4.00/150.00/Cu inf( 例子 )，按要求先將Au( 4.0UIN ) 和Ni( 150.0UIN ) 疊加在一起，AU( 4.0UIN )在上方，Ni( 150.0UIN )在下方，然后放在 Cu* 標準片上，對齊位置，放入模具，輕輕放進樣品臺，鐳射聚焦，測量。

存檔: 

等待測量完成后一項，GO鍵變綠后，點擊“保存”存檔。

（更新校準檔案時不需要設置標準片參數等等，只需要按步驟測完每一項，并且準確放入對應厚度的標準片）

三、更新完成

a: 檢查檔案是否更新成功

疊加的標準片繼續放在樣品臺內不用拿出來，再次從影像下方的“校準”檔案里面調出Au/Ni/Cu檔案，鐳射聚焦，測量標準片。看測量結果與標準品實際結果偏差是否在允許誤差范圍內，若在誤差允許范圍內，則證明更新檔案成功。  

    b: 操作完成，可測量樣品。

點擊影像下方的“應用”，從右方的黃色文件夾（即打開檔案夾）里選擇對應鍍層的合適檔案測量樣品。